Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 2 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev
CIFREUND, David
Bakalářská práce je zaměřena na dávkovací systém pro PECVD procesy v prostředí nízkoteplotního plazmatu. Klíčem úspěšných depozic je přesný a stabilní průtok prekurzoru do reaktoru, kde probíhají výboje různého druhu, využívané pro depozici tenkých vrstev. V případě, že je příměsí prekurzoru kapalina, je potřeba ji smíchat s nosným plynem a výslednou směs převést kompletně do plynné fáze. Pro tyto účely byl vybrán vypařovací systém CEM značky Bronkhorst High-Tech B.V., složený z regulátoru průtoku pro plyn, regulátoru průtoku pro kapalinu, vypařovací jednotky a řídícího modulu pro jejich ovládání. Cílem práce je implementovat uvedený vypařovací systém do plazma chemického reaktoru, provést jeho kalibraci a testovací měření.
Určení objemového průtoku vazkoplastických kapalin mezikružím za pomoci aditivní metody
Filip, Petr ; David, Jiří
Je presentována aditivní metoda umožňující přímé určení axiálního objemového průtoku v koncentrickém mezikruží pro kapalinu, jejíž chování lze popsat mocninovým či Vočadlovým modelem. Je ukázáno, že průtok lze vyjádřit jako součet dílčích průtoků jednotlivými mezikružími tvořícími v součtu původní celé mezikruží.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.