Hlavní stránka > Výsledky hledání: keywords:"Large area delayering"
Hledej:
Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání
Hledej ve sbírkách:
Seřadit podle: Zobrazit výsledky: Výstupní formát:
Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Velkoplošné odvrstvování polovodičových čipů
 Mezera, Petr ; Adámek, Martin (oponent) ; Búran, Martin (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá návrhem modelového pracovního postupu pro planární odvrstvování velkých ploch. Práce popisuje obecnou konstrukci integrovaných obvodů, a i nejzákladnější možnosti jejich pouzdření. Dále byl vypracován přehled používaných metod k odvrstvování polovodičových čipů, jejich výhody, principy nebo jejich omezení. V práci jsou představeny současné trendy v odvrstvování polovodičových čipů. Podrobněji jsou potom rozebrány metody FIB a BIB. Dále byly navrženy modelové pracovní postupy pro planární odvrstvování vrstev. Metody byly aplikovány na připravené vzorky a výsledky byly diskutovány, srovnávány a byla doporučená opatření pro jejich možné zlepšení.
Úplný záznam

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.
Digitální repozitář :: Hledej :: Nový záznam :: Personalizace :: Nápověda
Powered by Invenio v1.1.2
Spravuje admin.invenio@techlib.cz
Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky  English