|
|
VÝVOJ NÁSTROJŮ S PKD, CVD VRSTVOU A CVD POVLAKEM PRO DOKONČOVÁNÍ DĚR
Ćmiel, Milan ; Humár, Anton (oponent) ; Kouřil, Karel (vedoucí práce)
Obsahem této práce je návrh, provedení a vyhodnocení experimentu, který ověří užitné vlastnosti nově vyvinutých nástrojů firmy HAM-FINAL, které jsou osazeny břity z polykrystalického diamantu (PKD) a CVD diamantu. Teoretická část práce se zabývá materiály řezných nástrojů se zaměřením na diamantové materiály, dále pak opotřebením řezných nástrojů, požadavky kladenými na přesnost vystružených děr a také nástroji na výrobu přesných děr. Součástí práce je také přehled sortimentu vybraných světových výrobců PKD, CVD diamantových povlaků, CVD diamantových vrstev a výrobců výstružníků s břity z PKD.
|
|
|
Diamond coated AlGaN/GaN high electron mobility transistors - effect of deposition process on gate electrode
Vanko, G. ; Ižák, Tibor ; Babchenko, O. ; Kromka, Alexander
We studied the influence of the diamond deposition on the degradation of Schottky gate electrodes (i.e. Ir or IrO2) and on the electrical characteristics of AlGaN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs). In present study, the diamond films were selectively deposited on the AlGaN/GaN circular HEMT by focused (ellispoidal cavity reactor) and linear antenna (surface wave) microwave plasma at different temperatures from 400°C to 1100°C. The preliminary results on electrical measurements on the diamond-coated c-HEMTs showed degraded electrical properties comparing to c-HEMTs before deposition process, which was attributed to degradation of the Ir gate electrodes even at temperatures as low as 400°C. On the other hand, metal oxide gate electrode layer (IrO2) can withstand diamond CVD process even at high temperatures (~900°C) which make it suitable for fabrication of all-in-diamond c-HEMT devices for high-power applications.
|
|
|
VÝVOJ NÁSTROJŮ S PKD, CVD VRSTVOU A CVD POVLAKEM PRO DOKONČOVÁNÍ DĚR
Ćmiel, Milan ; Humár, Anton (oponent) ; Kouřil, Karel (vedoucí práce)
Obsahem této práce je návrh, provedení a vyhodnocení experimentu, který ověří užitné vlastnosti nově vyvinutých nástrojů firmy HAM-FINAL, které jsou osazeny břity z polykrystalického diamantu (PKD) a CVD diamantu. Teoretická část práce se zabývá materiály řezných nástrojů se zaměřením na diamantové materiály, dále pak opotřebením řezných nástrojů, požadavky kladenými na přesnost vystružených děr a také nástroji na výrobu přesných děr. Součástí práce je také přehled sortimentu vybraných světových výrobců PKD, CVD diamantových povlaků, CVD diamantových vrstev a výrobců výstružníků s břity z PKD.
|
host ::
RSS.