Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu
MACKŮ, Jana
Cílem bakalářské práce je návrh a provedení elektricky vyhřívané jednotky pro řízené odpařování precursoru pro PECVD aparaturu. Práce obsahuje popis návrhu vypařovací jednotky a jejího praktického provedení. Experimentální měření charakteristik bylo provedeno v PECVD aparatuře. Takto byly určeny charakteristiky odpařovací jednotky pro umožnění jejího použití v laboratořích. Dále je poskytnuto srovnání s komerčně nabízenou termostaticky vyhhřívanou jednotkou.

Viz též: podobná jména autorů
4 Macků, Jan
18 Macků, Jaromír
6 Macků, Jiří
1 Macků, Jozef
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.