|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Elektrostatický nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop pro Augerovu analýzu
Romanovský, V. ; El Gomati, M. M. ; Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona
Byl realizován rastrovací nízkoenergiový elektronový mikroskop (SLEEM) s katodovou čočkou, v níž jako katoda slouží vzorek připojený na záporný potenciál. V tomto uspořádání procházejí elektrony mikroskopem s vysokou energií a na nízkou energii jsou bržděny těsně před svým dopadem na vzorek. Takový systém zajišťuje vysokou úroveň signálu dokonce i při energiích dopadu v desítkách nebo jednotkách eV. Používání primárních elektronů o nízké energii přináší mnohé problémy, jako např. nízký jas zdroje, zvětšené zobrazovací vady a citlivost k rušivým polím. Rastrovací Augerova mikroskopie (SAM) je dobře zavedenou experimentální metodou. Kombinace SAM a SLEEM v jediném zařízení by tedy představovala nástroj postačující k vyřešení problémů, s nimiž se tyto metody potýkají jednotlivě. Ačkoliv již bylo mnohé vykonáno na poli detekce pomalých elektronů, žádná z metod známých v současnosti není způsobilá k zabudování do rastrovacího osvětlovacího tubusu pro analytickou Augerovu mikrosondu
|
|
|
Sběrová účinnost detektoru sekundárních elektronů v REM
Konvalina, Ivo ; Müllerová, Ilona
Za účelem sběru sekundárních elektronů (SE) jsou rastrovací elektronové mikroskopy (REM) vybaveny Everhart-Thornley-ho detektorem. Elektrostatické pole síťky na kladném potenciálu několika set voltů má přitahovat všechny SE s kinetickou energií pod 50 eV nebo alespoň ty s energií v blízkosti píku 1-3 eV ve spektru SE. Detekční kvantová účinnost (DQE) mnoha detektorů je ale výrazně menší než jedna a to je převážně dáno jejich malou sběrovou účinností. Elektrostatické pole síťky nemůže dostatečně pronikat ke vzorku a ovlivňovat trajektorie SE kvůli elektrodám na zemním potenciálu v okolí vzorku (samotný vzorek, jeho držák, stolek, pólové nástavce objektivu, atd.)
|
|
|
Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými elektrony
Hrnčiřík, Petr ; Müllerová, Ilona
Největší možná tloušťka vzorku pro prozařovací elektronovou mikroskopii (TEM) je ovlivněna nepružnou a pružnou střední volnou dráhou (IMFP a EMFP). Při energiích běžně používaných v transmisní elektronové mikroskopii (>50 keV), obě střední volné dráhy se snižují s klesající energií primárního svazku. Proniknout dostatečně vzorkem dané tloušťky je potom pouze otázkou použití dostatečně vysoké energie primárních elektronů. Pokud je energie primárních elektronů snížena pod 100 eV, IMFP se opět zvyšuje. Toto otevírá možnost prozařovací elektronové mikroskopie pomalými elektrony, s nižším rozlišením ale velmi sníženým radiačním poškozením vzorku
|
|
| |
|
| |
host ::
RSS.