|
|
Plasma-jet systems - experiment and model
Rubovič, Peter ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Hubička, Zdeněk (oponent)
V predloženej práci skúmame prúdenie pracovného plynu systémom s plazmatickou tryskou. V práci je popísaný základný princíp výboja v dutej katóde a jeho technologické využitie, najmä pre potreby nanášania tenkých vrstiev. Jedným z dôležitých parametrov pri nanášaní je rýchlosť, s akou sa pohybuje pracovný plyn a s ním rozprášený materiál terča smerom k substrátu. Kvôli presnosti a reprodukovateľnosti experimentov je nutné poznať vzťahy medzi prúdením pracovného plynu a vonkajšími parametrami experimentu, ako je napríklad prúd pracovného plynu a tlak v komore. Pre tieto účely boli spravené merania rýchlosti iónov pomocou Langmuirovej elektrostatickej sondy pri pulznom pracovnom režime trysky. Namerané údaje sú porovnané s počítačovým modelom, ktorý bol vyvinutý v rámci tejto práce. Tento model popisuje prúdenie pracovného plynu numerickým riešením Navier-Stokesovej rovnice pre stlačiteľné newtonovské tekutiny. Model je porovnaný s publikovanými výsledkami popisujúcimi prúdenie v dutej katóde, pričom je preukázateľná zhoda výsledkov. Výstup modelu ale dáva rozdielne výsledky v porovnaní s nameranými údajmi, ktoré pochádzajú z oblasti mimo katódu. Súčasťou popisu modelu je diskusia závislosti prúdenia na teplote.
|
|
|
Discharge plasma sources supported by magnetic field
Kolpaková, Anna ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Marek, Aleš (oponent)
Táto práca sa zaoberá diagnostikou nízkoteplotnej plazmy pomocou Langmuirovej a emisnej sondy na aparatúre valcového magnetrón v jednosmernom argónovom výboji. Cieľom práce bola sondová diagnostika radiálnych parametrov plazmy so zameraním na vylepšenú konštrukciu emisnej sondy a overenie jej využitia pri určovaní potenciálu plazmy. Ďalej bola práca zameraná na sledovanie vplyvu natočenia emisnej sondy vzhľadom k smeru magnetického poľa na merania emisnou sondou. V experimentálnej časti práce je uvedený popis aparatúry valcového magnetrónu, konštrukcie Langmuirovej a emisnej sondy a sondového obvodu. Na to nadväzuje popis softwaru pre zber a spracovanie dát zo sondových meraní, vytvorený pomocou ikonického jazyka Agilent VEE. Langmuirovou sondou boli namerané sondové charakteristiky v závislosti od radiálnej súradnice, z ktorých boli získane hodnoty potenciálu plazmy, plávajúceho potenciálu a koncentrácie elektrónov. Merania boli uskutočnené pre rôzne hodnoty tlaku, magnetického poľa a výbojového prúdu. Silne emitujúcou sondou bola meraná radiálna závislosť jej plávajúceho potenciálu, ktorý je aproximáciou potenciálu plazmy, pri rôznych hodnotách magnetického poľa.
|
|
|
Vliv složení laserové směsi na výskyt dusíkových pásů
Morávek, Matěj Jan ; Hrachová, Věra (vedoucí práce) ; Kudrna, Pavel (oponent)
This project studies mixtures of helium, nitrogen and carbon dioxid, widely used in so called CO2 lasers. These lasers are classified as discharge lasers. In the case of low output lasers is often used a DC glow discharge. We can find bands so called first and second positive systems of a dinitrogen molecule in an emission spectrum of the glow discharge. It is possible to deduce energetic balance and a vibrational temperature from these bands. The vibrational temperature was studied by the vibrational spectroscopy of dinitrogen molecule for various discharge currents and pressures and for various distribution of nitrogen in the mixture (we will start with an industrial mixture LASAL 63).
|
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Výbojové zdroje plazmatu s podporou magnetického pole
Havlíček, Josef ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Tichý, Milan (oponent)
Cílem této práce bylo proměřit vlastnosti fluktuací plovoucího potenciálu ve válcovém magnetronu v klasickém zapojení v neonu. K měření byla použita dvojice Langmuirových sond. Byly měřeny veličiny: tlak p v rozsahu 1-7 Pa, velikost indukce magnetického pole B v rozsahu 10-40 mT, výbojový proud I v rozsahu 5-100mA, výbojové napětí U a plovoucí potenciál Uf. Fluktuace byly popisovány pomocí závislosti spektrální výkonové hustoty na frekvenci S(f) a pomocí histogramu S(k,f), který navíc ukazuje závislost na vlnovém vektoru k. V magnetronu bylo pozorováno více módů výboje. Tyto módy se dají rozlišit například pomocí hodnoty plovoucího potenciálu. Byly určeny výbojové podmínky, kdy se ve spektru S(f) nachází pík. Ve většině případů byl pozorován pouze jeden pík s frekvencí v rozsahu 4-16 kHz. Většina těchto píků měla v histogramu S(k,f) nulový vlnový vektor, tj. plovoucí potenciál synchronně kmital na dané frekvenci v celém magnetronu. Pro některé výbojové podmínky byly pozorovány histogramy s nenulovým vlnovým vektorem pro spektrální pozadí (šum).
|
host ::
RSS.