Hlavní stránka > Výsledky hledání: 999C1a:FR-TI1/574
Hledej:
Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání
Hledej ve sbírkách:
Seřadit podle: Zobrazit výsledky: Výstupní formát:
Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Roční zpráva o řešení projektu MPO FR-TI1/574: Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografií
 Polívka, L. ; Kolařík, Vladimír ; Mikšík, P.
Elektronový litograf BS600 je elektronově-optické zařízení s tvarovaným svazkem vyvinuté a optimalizované pro výrobu reliéfních mikrostruktur se submikronovým rozlišením. Cílem etapy projektu bylo rozšíření již dříve vyvíjeného expozičního režimu se zmenšeným svazkem tak, aby byl tento režim využitelný pro realizaci difraktivních struktur do celkové velikosti 30 mm x 30 mm. Tohoto cíle bylo dosaženo, jak popisuje předkládaná zpráva.
Úplný záznam

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.
Digitální repozitář :: Hledej :: Nový záznam :: Personalizace :: Nápověda
Powered by Invenio v1.1.2
Spravuje admin.invenio@techlib.cz
Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky  English