|
|
Návrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstev
Vodák, Jiří ; Držík,, Milan (oponent) ; Klapetek, Petr (oponent) ; Ohlídal, Miloslav (vedoucí práce)
Práce se zabývá technikou zobrazovací spektroskopické reflektometrie vyvíjenou na Ústavu fyzikálního inženýrství Vysokého učení technického v Brně. Jedná se o techniku vhodnou k charakterizaci vzorků neuniformních podél jejich povrchu. Technika je primárně používána k optické charakterizaci tenkých vrstev. V úvodní části práce jsou popsány základní fyzikální principy, na kterých je technika založena. Dále je popsána metodika získávání měřených dat a základní popis metod zpracování těchto dat. Je rovněž popsán základní koncept zobrazovacího spektroskopického reflektometru včetně rozboru různých variant jednotlivých částí přístroje. V hlavní části se práce zabývá popisem dvou realizovaných přístrojů včetně popisu některých kroků při vývoji těchto přístrojů. Jsou také prezentovány výsledky měření provedených se zmíněnými přístroji. V závěru práce je pak nastíněn a odůvodněn směr vývoje techniky zobrazovací spektroskopické reflektometrie k zobrazovací spektroskopické elipsometrii.
|
|
|
Optimalizace zobrazovacího spektrofotometru
Vodák, Jiří ; Antoš, Martin (oponent) ; Ohlídal, Miloslav (vedoucí práce)
Práce se zabývá optimalizací zobrazovacího spektrofotometru, jehož hlavními částmi jsou monochromátor, zobrazovací soustava a CCD kamera s rozšířenou detekcí do UV oblasti elektromagnetického záření. Hlavními přínosy optimalizace je využití nového světelného zdroje, propojení monochromátoru a zobrazovací soustavy kabelem optických vláken a zjednodušení způsobu úhlového nastavení vzorku použitím zaměřovací CCD kamery. Další drobnější úpravy sloužily ke zkvalitnění obsluhy a měření.
|
|
|
Návrh zrcadlového kolimátoru pro světelný svazek vystupující z kabelu křemenných vláken kruhového průřezu
Vodák, Jiří ; Brillová, Kateřina (oponent) ; Ohlídal, Miloslav (vedoucí práce)
Inovativní metodou ke zkoumání optických vlastností tenkých vrstev je metoda zobrazovací spektroskopické reflektometrie. Na rozdíl od spektroskopické reflektometrie umožňuje tato metoda zkoumání vlastností větších ploch vzorků. Na Ústavu fyzikálního inženýrství byl zkonstruován zobrazovací spektrofotometr, u kterého byla plánovaná zkoumaná plocha vzorků až 25 mm x 25 mm. Této velikosti však nebylo dosaženo. Předkládaná práce se zabývá návrhem úprav celého zařízení tak, aby bylo dosaženo uvedených rozměrů studované plochy povrchu. Řešení spočívá v navržení nové optické přenosové soustavy mezi zdrojem monochromatického světla a spektrofotometrem. Ta bude využívat optický kabel křemenných vláken uspořádaných takovým způsobem, že vstupní světelný svazek obdélníkového průřezu je transformován na svazek kruhového průřezu. Z kabelu pak vystupuje kuželový světelný svazek, který bude možné efektivněji kolimovat.
|
|
|
Návrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstev
Vodák, Jiří ; Držík,, Milan (oponent) ; Klapetek, Petr (oponent) ; Ohlídal, Miloslav (vedoucí práce)
Práce se zabývá technikou zobrazovací spektroskopické reflektometrie vyvíjenou na Ústavu fyzikálního inženýrství Vysokého učení technického v Brně. Jedná se o techniku vhodnou k charakterizaci vzorků neuniformních podél jejich povrchu. Technika je primárně používána k optické charakterizaci tenkých vrstev. V úvodní části práce jsou popsány základní fyzikální principy, na kterých je technika založena. Dále je popsána metodika získávání měřených dat a základní popis metod zpracování těchto dat. Je rovněž popsán základní koncept zobrazovacího spektroskopického reflektometru včetně rozboru různých variant jednotlivých částí přístroje. V hlavní části se práce zabývá popisem dvou realizovaných přístrojů včetně popisu některých kroků při vývoji těchto přístrojů. Jsou také prezentovány výsledky měření provedených se zmíněnými přístroji. V závěru práce je pak nastíněn a odůvodněn směr vývoje techniky zobrazovací spektroskopické reflektometrie k zobrazovací spektroskopické elipsometrii.
|
|
|
Optimalizace zobrazovacího spektrofotometru
Vodák, Jiří ; Antoš, Martin (oponent) ; Ohlídal, Miloslav (vedoucí práce)
Práce se zabývá optimalizací zobrazovacího spektrofotometru, jehož hlavními částmi jsou monochromátor, zobrazovací soustava a CCD kamera s rozšířenou detekcí do UV oblasti elektromagnetického záření. Hlavními přínosy optimalizace je využití nového světelného zdroje, propojení monochromátoru a zobrazovací soustavy kabelem optických vláken a zjednodušení způsobu úhlového nastavení vzorku použitím zaměřovací CCD kamery. Další drobnější úpravy sloužily ke zkvalitnění obsluhy a měření.
|
|
|
Návrh zrcadlového kolimátoru pro světelný svazek vystupující z kabelu křemenných vláken kruhového průřezu
Vodák, Jiří ; Brillová, Kateřina (oponent) ; Ohlídal, Miloslav (vedoucí práce)
Inovativní metodou ke zkoumání optických vlastností tenkých vrstev je metoda zobrazovací spektroskopické reflektometrie. Na rozdíl od spektroskopické reflektometrie umožňuje tato metoda zkoumání vlastností větších ploch vzorků. Na Ústavu fyzikálního inženýrství byl zkonstruován zobrazovací spektrofotometr, u kterého byla plánovaná zkoumaná plocha vzorků až 25 mm x 25 mm. Této velikosti však nebylo dosaženo. Předkládaná práce se zabývá návrhem úprav celého zařízení tak, aby bylo dosaženo uvedených rozměrů studované plochy povrchu. Řešení spočívá v navržení nové optické přenosové soustavy mezi zdrojem monochromatického světla a spektrofotometrem. Ta bude využívat optický kabel křemenných vláken uspořádaných takovým způsobem, že vstupní světelný svazek obdélníkového průřezu je transformován na svazek kruhového průřezu. Z kabelu pak vystupuje kuželový světelný svazek, který bude možné efektivněji kolimovat.
|
host ::
RSS.