Hlavní stránka > Výsledky hledání: Koňařík, Lukáš
Hledej:
Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání
Hledej ve sbírkách:
Seřadit podle: Zobrazit výsledky: Výstupní formát:
Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Vývoj a výroba mikroelektromechanických systémů MEMS
 Koňařík, Lukáš ; Dostál, Zbyněk (oponent) ; Nováček, Zdeněk (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá mikroeletromechanickými systémy MEMS. V první části práce jsou obecně popsány aplikační oblasti těchto systémů společně s konkrétními případy. Dále jsou zde detailně vysvětleny simulace v programu COMSOL Multiphysics, stejně jako výčet fyzikálních principů technologií MEMS systémů. V praktické části jsou uvedeny modely elektrostatického aktuátoru a termomechanického aktuátoru. Práce zachycuje jednotlivé kroky výroby od prvotního substrátu až po finální strukturu. Součástí tohotu procesu je řezání vzorků pomocí laserové řezačky, spin coating, optická litografie, nanášení vodivé kovové vrstvy na evaporátoru, lift-off, leptání struktury technikou hloubkového reaktivního iontového leptání, leptání kyselinou fluorovodíkovou a bondování do elektrického obvodu. Všechny kroky jsou zdokumentovány a provedeny ve sdílených laboratořích Středoevropského Technologického Institutu CEITEC Nano. V závěru jsou shrnuty a diskutovány výsledky celého výrobního procesu.
Úplný záznam

Viz též: podobná jména autorů
2 Koňařík, Libor
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.
Digitální repozitář :: Hledej :: Nový záznam :: Personalizace :: Nápověda
Powered by Invenio v1.1.2
Spravuje admin.invenio@techlib.cz
Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky  English