|
|
Analýza a modifikace tenkých vrstev pomocí iontových svazků
Jonner, Jakub ; Lörinčík, Jan (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá analýzou a modifikací tenkých vrstev pomocí iontových svazků. První část diplomové práce nabízí úvod do teorie interakce iontů s pevnou látkou. Druhá část diplomové práce se věnuje hmotnostní spektroskopii sekundárních iontů (SIMS) a spektroskopii rozptylu iontů nízkých energií (LEIS). Tato práce poskytuje nejen základní informace o těchto dvou metodách, ale zabývá se také výhodami plynoucími z jejich spojení v paralelním módu hloubkového profilování. Tyto výhody (lepší hloubkové rozlišení LEIS profilů, kvantifikace metody SIMS) jsou demonstrovány na příkladu měření MoSi multivrstev. V rámci této diplomové práce byl také navrhnut nový UHV manipulátor, vybavený precizním krokovým UHV motorkem, který umožňuje, díky svým kompaktním rozměrům, pohodlnější a přesnější manipulaci paletky se vzorkem v omezeném prostoru UHV komory. Třetí část diplomové práce se zabývá možností transformace krystalové struktury metastabilních Fe vrstev na Cu(100) svazkem Ar+ iontů. Fe vrstvy s metastabilní fcc strukturou byly připraveny napařováním Fe v atmosféře CO (u 22 monovrstev tlustých Fe vrstev) a napařováním Fe spolu s invarem - Fe64Ni36 (u 44 monovrstev tlustých Fe vrstev). Změny krystalové struktury jsou studovány pomocí rastrovacího tunelového mikroskopu a pomocí difrakce pomalých elektronů. Tato práce se zaměřuje zejména na určení vlivu různých energií iontů a různých iontových dávek na tvorbu a růst bcc nanokrystalů, jejich konečný tvar a velikost. U Fe vrstev napařených spolu s invarem se pak tato práce zaměřuje na stanovení procentuálního množství Ni v Fe vrstvě potřebného pro depozici Fe vrstev s metastabilní fcc strukturou.
|
|
|
Příprava hrotů pro rastrovací tunelový mikroskop STM - statická a dynamická leptací metoda
Jonner, Jakub ; Spousta, Jiří (oponent) ; Kostelník, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zábývá konvenční statickou a dynamickou metodou elektrochemického leptání hrotů pro rastrovací tunelový mikroskop STM. Popisuje základní principy těchto dvou leptacích metod a konstrukční řešení zařízení pro leptání hrotů. V rámci této práce bylo provedeno rozsáhlé měření s cílem určit vliv leptacích parametrů na průběh a výsledek leptání. U konvenční statické metody byl testován vliv různé koncentrace roztoku KOH, hloubky ponoření konce wolframového drátu do leptacího roztoku a změny napětí. U dynamické metody byl testován vliv různé koncentrace roztoku KOH, velikosti průtoku a změny napětí. V závěru této práce jsou uvedeny ideální nastavení těchto parametrů a porovnány výsledky leptání pomocí statické a dynamické metody.
|
|
|
Analýza a modifikace tenkých vrstev pomocí iontových svazků
Jonner, Jakub ; Lörinčík, Jan (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá analýzou a modifikací tenkých vrstev pomocí iontových svazků. První část diplomové práce nabízí úvod do teorie interakce iontů s pevnou látkou. Druhá část diplomové práce se věnuje hmotnostní spektroskopii sekundárních iontů (SIMS) a spektroskopii rozptylu iontů nízkých energií (LEIS). Tato práce poskytuje nejen základní informace o těchto dvou metodách, ale zabývá se také výhodami plynoucími z jejich spojení v paralelním módu hloubkového profilování. Tyto výhody (lepší hloubkové rozlišení LEIS profilů, kvantifikace metody SIMS) jsou demonstrovány na příkladu měření MoSi multivrstev. V rámci této diplomové práce byl také navrhnut nový UHV manipulátor, vybavený precizním krokovým UHV motorkem, který umožňuje, díky svým kompaktním rozměrům, pohodlnější a přesnější manipulaci paletky se vzorkem v omezeném prostoru UHV komory. Třetí část diplomové práce se zabývá možností transformace krystalové struktury metastabilních Fe vrstev na Cu(100) svazkem Ar+ iontů. Fe vrstvy s metastabilní fcc strukturou byly připraveny napařováním Fe v atmosféře CO (u 22 monovrstev tlustých Fe vrstev) a napařováním Fe spolu s invarem - Fe64Ni36 (u 44 monovrstev tlustých Fe vrstev). Změny krystalové struktury jsou studovány pomocí rastrovacího tunelového mikroskopu a pomocí difrakce pomalých elektronů. Tato práce se zaměřuje zejména na určení vlivu různých energií iontů a různých iontových dávek na tvorbu a růst bcc nanokrystalů, jejich konečný tvar a velikost. U Fe vrstev napařených spolu s invarem se pak tato práce zaměřuje na stanovení procentuálního množství Ni v Fe vrstvě potřebného pro depozici Fe vrstev s metastabilní fcc strukturou.
|
|
|
Příprava hrotů pro rastrovací tunelový mikroskop STM - statická a dynamická leptací metoda
Jonner, Jakub ; Spousta, Jiří (oponent) ; Kostelník, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zábývá konvenční statickou a dynamickou metodou elektrochemického leptání hrotů pro rastrovací tunelový mikroskop STM. Popisuje základní principy těchto dvou leptacích metod a konstrukční řešení zařízení pro leptání hrotů. V rámci této práce bylo provedeno rozsáhlé měření s cílem určit vliv leptacích parametrů na průběh a výsledek leptání. U konvenční statické metody byl testován vliv různé koncentrace roztoku KOH, hloubky ponoření konce wolframového drátu do leptacího roztoku a změny napětí. U dynamické metody byl testován vliv různé koncentrace roztoku KOH, velikosti průtoku a změny napětí. V závěru této práce jsou uvedeny ideální nastavení těchto parametrů a porovnány výsledky leptání pomocí statické a dynamické metody.
|
host ::
RSS.