| |
| |
| |
| |
| |
|
Coulombovské interakce v elektronových svazcích
Jánský, Pavel
Článek se zabývá výpočty termoemisní trysky elektronové svářečky a optimalizací elektronově optické soustavy svářečky. Popisuje novou metodu výpočtu užitou v programu EOD pro určení vlivu prostorového náboje na emitovaný proud a trajektorie elektronů v elektronové trysce.
|
|
Programs for design of systems in particle optics
Lencová, Bohumila ; Zlámal, J. ; Jánský, P.
The paper describes a number of programs used by us in the design of systems for surface studies and deposition that simulate the focusing, transport and deflection of charged particles. In deposition and implantation systems often quite intense beams of ions are used where the space charge effects become prohibitive. Therefore we have extended our 2D FEM program EOD, equipped with a Windows graphical interface, with an option to compute space charge limited beams.
|
|
Coulombovské interakce v iontových svazcích
Jánský, Pavel
Práce se zabývá výpočty a optimalizací elektronově (iontově) optických systémů, ve kterých se významně projevuje působení prostorového náboje. K počítačovým simulacím se užívá programů CPO a EOD. Prvním z řešených úkolů je optimalizace geometrie trysky elektronové svářečky.
|
| |
|
Vybrané příklady našich výpočtů
Lencová, Bohumila ; Jánský, Pavel ; Zlámal, J.
Článek diskutuje vlastnosti programu EOD (Electron Optical Design), který obsahuje uživatelský interfejs pro Windows, integruje všechny programy pro dvourozměrné výpočty metodou konečných prvků prvního řádu, trasování částic ve vypočtených polích, simulaci elektronových a iontových zdrojů a výpočet svazků omezených prostorovým nábojem. Většina součástí programu je v beta vývojové fázi, a jsou již používány v řadě našich projektů. Program byl například použit pro simulaci iontově optického systému pro depozici iontovými svazky na VUT v Brně od zahrnutí vytváření plazmatu v iontovém zdroji stejně jako pro započtení vlivu prostorového náboje v iontovém svazku transportovaném systémem. Můžeme také počítat elektronové trysky s vlivem prostorového náboje, jak to ilustruje příklad výpočtu známé Pierceovy trysky. Grafické možnosti ilustruje výřez trojrozměrného zobrazení elektronové trysky pro svařování elektronovým paprskem
|