Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.01 vteřin. 
Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu
MACKŮ, Jana
Cílem bakalářské práce je návrh a provedení elektricky vyhřívané jednotky pro řízené odpařování precursoru pro PECVD aparaturu. Práce obsahuje popis návrhu vypařovací jednotky a jejího praktického provedení. Experimentální měření charakteristik bylo provedeno v PECVD aparatuře. Takto byly určeny charakteristiky odpařovací jednotky pro umožnění jejího použití v laboratořích. Dále je poskytnuto srovnání s komerčně nabízenou termostaticky vyhhřívanou jednotkou.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.