|
| |
|
|
Parasitic aberrations of the hexapole corrector of spherical aberration - analysis and corrections
Sopoušek, Jan ; Lencová, Bohumila (oponent) ; Radlička, Tomáš (vedoucí práce)
One of the option of spherical aberration correction in electron microscopy is the hexapole corrector. Although the principle of the corrector is described in literature quite elaborately the adjustment of the corrector, which is crucial for its functionality, is studied just briefly. The thesis is dedicated to the analytic analysis of parasitic aberrations and its influence on resolution of an image by the Eikonal method and aberration integrals. It is shown that off-axial shifts and tilts play the major role in parasitic aberrations. In the end the procedure of adjustment of the hexapole corrector for elimination of parasitic aberrations is described.
|
|
|
Elektrostatické vychylovací a korekční systémy
Badin, Viktor ; Oral, Martin (oponent) ; Zlámal, Jakub (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, astigmatismu a zkreslení. Aberace byly spočteny jak pro současný magnetický vychyolvací systém, tak pro nově navržený elektrostatický deflektor. Vlastnosti a vady obou vychylovacích a korekčních systémů byly porovnány.
|
|
| |
|
|
SMV-2021-43: Návrh a simulace elektronově optických systémů
Radlička, Tomáš
V rámci smluvního výzkum bylo zpracováno několik studií proveditelnosti týkajících se optických vlastností elektronově optických elementů, optimalizace jejich designu a jejich možné integrace do elektronového mikroskopu. Výzkum také zahrnoval vývoj programů, které se používají na elektronově optický design a jejich integrace do programového prostředí Julia.
|
|
|
SMV-2020-31: Návrh a simulace elektronově optických prvků
Radlička, Tomáš
V rámci smluvního výzkum bylo zpracováno několik studií proveditelnosti týkajících se optických vlastností elektronově optických elementů, optimalizace jejich designu a jejich možné integrace do elektronového mikroskopu. To zahrnovalo výpočet vad metodou diferenciálních algeber, výpočet rozlišení pomocí vlnově optických výpočtů a analýzu vad seřízení. Kromě designu jsme se také zabývali možností přípravy optického elementu, jehož součástí je grafénová fólie.
|
|
|
Electron optical properties of a new low-energy scanning electron microscope with beam separator
Radlička, Tomáš ; Kolařík, V. ; Oral, Martin
The low energy scanning electron microscope (SEM) which is currently at the Institute of\nScientific Instruments, suffers from low resolution and suboptimal detections systems. In the cathode lens regime, signal electrons are accelerated by the electric field between the sample and the objective lens, getting collimated. Those with low emission angles get through the bore in the BSE detector into the objective lens and cannot be detected by the available detectors now. The information about the sample provided by these electrons is lost, which limits our microscopy methods.\nThese two limitations are to be overcome with a new low-energy SEM, which was developed\nat Delong Instruments. It consists of a field emission gun with the energy width of 0.8 eV, a magnetic condenser lens, and an electrostatic triode objective lens. The acceleration voltage is 5 kV. The sample stage can be biased at up to -5 kV to provide low landing energy without strong decrease of the resolution – the effect of the cathode lens. A beam separator is placed in front of the deflection system for the detection of the signal electrons that get to the column. In a combination with standard detectors and cathode lens, it allows detecting all\nkinds of signal electrons.
|
|
|
Parasitic aberrations of the hexapole corrector of spherical aberration - analysis and corrections
Sopoušek, Jan ; Lencová, Bohumila (oponent) ; Radlička, Tomáš (vedoucí práce)
One of the option of spherical aberration correction in electron microscopy is the hexapole corrector. Although the principle of the corrector is described in literature quite elaborately the adjustment of the corrector, which is crucial for its functionality, is studied just briefly. The thesis is dedicated to the analytic analysis of parasitic aberrations and its influence on resolution of an image by the Eikonal method and aberration integrals. It is shown that off-axial shifts and tilts play the major role in parasitic aberrations. In the end the procedure of adjustment of the hexapole corrector for elimination of parasitic aberrations is described.
|
|
|
Elektrostatické vychylovací a korekční systémy
Badin, Viktor ; Oral, Martin (oponent) ; Zlámal, Jakub (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, astigmatismu a zkreslení. Aberace byly spočteny jak pro současný magnetický vychyolvací systém, tak pro nově navržený elektrostatický deflektor. Vlastnosti a vady obou vychylovacích a korekčních systémů byly porovnány.
|
|
|
Dalekohledy typu Schmidt-Cassegrain
Jareš, Daniel ; Lédl, Vít ; Rail, Zdeněk
Je popsána analýzu zbytkových optických vad dalekohledu typu Schmidt-Cassegrain (SCT). Přestože se SCT dalekohledy vyrábějí již 30 let, problematika jejich zobrazovacích vlastností zůstává málo diskutována. V ÚFP AV ČR - VOD v Turnově bylo provedeno měření optických parametrů komerčně vyráběných dalekohledů typu SCT od firem Meade, Celestron a Carl Zeiss Jena. Z naměřených hodnot byly sestaveny modely těchto soustav pomocí programu Zemax a vypočteny jejich zbytkové vady. Bylo zjištěno, že vhodnou změnou vstupních parametrů lze dosáhnout radikálního zmenšení optických vad.
|
host ::
RSS.