|
|
Příprava a testování SNOM sond speciálních vlastností
Bobek, Juraj ; Pavera, Michal (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Oblasť výskumu, ktorá sa zaoberá úpravou povrchov a tvorbou nanoštruktúr, je ešte stále velmi neprebádaná. A iba malý príspevok do tejto oblasti je pojednávaný v tejto bakalárskej práci. Jej cieľom je výroba a testovanie sondy z dutého optického vlákna určenej do rastrovacej sondovej mikroskopie. Parametre optického vlákna v kombinácii s vhodnou technikou umožnia prelom mnohým zaujímavým aplikáciam. Za zmienku stojí vstrekovanie plynu do blízkosti povrchu vzorky (GIS) a jeho následná modifikácia použitím elektrónového (FEBID), iónového (FIBID) alebo laserového zväzku.
|
|
|
Aplikace fokusovaného iontového a elektronového svazku v nanotechnologiích
Šamořil, Tomáš ; Mikulík, Petr (oponent) ; Jiruše, Jaroslav (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
Systémy pracující současně s fokusovanými elektronovými a iontovými svazky jsou v dnešní době velmi důležitými nástroji v oblasti mikro- a nanotechnologií. Kromě zobrazování a analýzy vzorků je lze rovněž využít k litografii, jejíž aplikací jsou připravovány struktury požadovaného tvaru a rozměrů v mikrometrovém až nanometrovém měřítku. Práce nejprve pojednává o jedné z litografických metod – depozici indukované fokusovaným elektronovým nebo iontovým svazkem, u níž je hledáno optimální nastavení podmínek expozice a studována kvalita deponovaných kovových struktur z hlediska tvaru a prvkového složení. Následně je věnována pozornost i dalším typům litografických metod (elektronová, iontová), které jsou aplikovány k přípravě leptacích masek pro následné selektivní mokré leptání monokrystalického křemíku. Kromě optimalizace tohoto procesu je studováno využití leptaného povrchu Si např. pro pozdější selektivní růst kovových materiálů. U leptaných, tvarově a rozměrově definovaných 2D, resp. 3D struktur je studium v některých případech zaměřeno i na jejich funkční vlastnosti.
|
|
|
Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů
Očkovič, Adam ; Vařeka, Karel (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce je zaměřena na úpravu sond s integrovaným senzorem využitelných pro měření vodivostních charakteristik povrchů v mikroskopii atomárních sil. V první části je uvedena teorie týkající se mikroskopie atomárních sil, vodivostního měření a depozice pomocí iontového svazku. Dále je zde popsán způsob výroby a limitace použití elektricky vodivých sond s opticky čtenou výchylkou. V praktické části jsou uvedeny hlavní problémy sond s integrovanými senzory při vodivostním měření. Dále je popsána samotná úprava sond, provedené měření s těmito sondami a návrhy pro zlepšení vlastností sond.
|
|
|
Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů
Očkovič, Adam ; Vařeka, Karel (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce je zaměřena na úpravu sond s integrovaným senzorem využitelných pro měření vodivostních charakteristik povrchů v mikroskopii atomárních sil. V první části je uvedena teorie týkající se mikroskopie atomárních sil, vodivostního měření a depozice pomocí iontového svazku. Dále je zde popsán způsob výroby a limitace použití elektricky vodivých sond s opticky čtenou výchylkou. V praktické části jsou uvedeny hlavní problémy sond s integrovanými senzory při vodivostním měření. Dále je popsána samotná úprava sond, provedené měření s těmito sondami a návrhy pro zlepšení vlastností sond.
|
|
|
Příprava a testování SNOM sond speciálních vlastností
Bobek, Juraj ; Pavera, Michal (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Oblasť výskumu, ktorá sa zaoberá úpravou povrchov a tvorbou nanoštruktúr, je ešte stále velmi neprebádaná. A iba malý príspevok do tejto oblasti je pojednávaný v tejto bakalárskej práci. Jej cieľom je výroba a testovanie sondy z dutého optického vlákna určenej do rastrovacej sondovej mikroskopie. Parametre optického vlákna v kombinácii s vhodnou technikou umožnia prelom mnohým zaujímavým aplikáciam. Za zmienku stojí vstrekovanie plynu do blízkosti povrchu vzorky (GIS) a jeho následná modifikácia použitím elektrónového (FEBID), iónového (FIBID) alebo laserového zväzku.
|
|
|
Aplikace fokusovaného iontového a elektronového svazku v nanotechnologiích
Šamořil, Tomáš ; Mikulík, Petr (oponent) ; Jiruše, Jaroslav (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
Systémy pracující současně s fokusovanými elektronovými a iontovými svazky jsou v dnešní době velmi důležitými nástroji v oblasti mikro- a nanotechnologií. Kromě zobrazování a analýzy vzorků je lze rovněž využít k litografii, jejíž aplikací jsou připravovány struktury požadovaného tvaru a rozměrů v mikrometrovém až nanometrovém měřítku. Práce nejprve pojednává o jedné z litografických metod – depozici indukované fokusovaným elektronovým nebo iontovým svazkem, u níž je hledáno optimální nastavení podmínek expozice a studována kvalita deponovaných kovových struktur z hlediska tvaru a prvkového složení. Následně je věnována pozornost i dalším typům litografických metod (elektronová, iontová), které jsou aplikovány k přípravě leptacích masek pro následné selektivní mokré leptání monokrystalického křemíku. Kromě optimalizace tohoto procesu je studováno využití leptaného povrchu Si např. pro pozdější selektivní růst kovových materiálů. U leptaných, tvarově a rozměrově definovaných 2D, resp. 3D struktur je studium v některých případech zaměřeno i na jejich funkční vlastnosti.
|
host ::
RSS.