|
Výroba membrán pomocí anizotropního leptání křemíku
Balajka, Jan ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Urbánek, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá přípravou membrán z oxidu křemičitého (SiO2) na křemíkovém (Si) substrátu pomocí anizotropního leptání křemíku. Masky pro anizotropní leptání křemíku byly vytvořeny pomocí elektronové litografie a chemického leptání SiO2. V práci jsou popsány jednotlivé kroky postupu přípravy membrán včetně použitých experimentálních podmínek. Za účelem optimalizace pracovního postupu bylo provedeno několik měření rychlosti leptání Si/SiO2 v různých roztocích. Výsledky těchto měření jsou zde rovněž uvedeny. Připravené membrány byly charakterizovány pomocí optické mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a spektroskopické reflektometrie. Součástí práce je i popis metod použitých pro přípravu a analýzu definovaných struktur připravených pomocí anizotropního leptání křemíku.
|
|
Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (oponent) ; Hubálek, Jaromír (vedoucí práce)
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání.
|
|
Studium morfologie velmi tenkých vrstev XPS analýzou více spektrálních čar jednoho prvku
Pokorný, David ; Šik, Ondřej (oponent) ; Polčák, Josef (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá metodologií určení tloušťky tenké vrstvy pomocí rentgenového záření stříbrné anody, která poskytuje záření o energii 2984,3 eV. Tato, oproti standardní hliníkové anodě, přibližně dvojnásobná hodnota energie přináší možnost zkoumat ve spektru nové čáry s vyšší vazebnou energií, a také vzhledem k vyšší energii emitovaných fotoelektronů i větší informační hloubku. Pro získání správných výsledků bylo nejprve potřeba provést kalibraci spektrometru Kratos Axis Supra v režimu stříbrné anody a získat potřebnou podobu trasmisní funkce. Samotné určení tloušťky tenké vrstvy bylo provedeno pomocí srovnání poměru intenzit různých čar fotoelektronového spektra s teoretickým modelem. Konkrétně bylo využito peaků Si 1s a Si 2p vázaných v substrátu ve vazbě Si-Si, případně v tenké oxidové vrstvě ve vazbě Si-O. Výsledky ukazují, že pro určení tloušťky tenké vrstvy SiO2/Si je nejlepší využít poměr intenzit pouze jednoho peaku. Stříbná anoda ovšem přináší výhodu ve větší informační hloubce.
|
|
Růst epitaxních kobaltových (CoSi2) ostrůvků pomocí epitaxe řízené oxidovou vrstvou
Stará, Veronika ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá studiem přípravy a růstu kobaltových tenkých vrstev. Jako substrát byla použita křemíková deska s orientací (111) pokrytá tenkou vrstvou nativního oxidu SiO2. Pro růst kobaltové vrstvy byla využita metoda epitaxe řízené oxidovou vrstvou. Jako zdroj kobaltových atomů byla využita efuzní cela. Byla zkoumána závislost složení a morfologie substrátu na teplotě žíhání. Dalším bodem výzkumu bylo určení závislosti výsledného vzhledu ostrůvků na množství deponovaného materiálu a orientaci substrátu. Připravené struktury byly zkoumány využitím rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS), mikroskopie atomárních sil (AFM), rastrovací elektronové mikroskopie (SEM). Abychom změřili tloušťku podpovrchových ostrůvků, byly připravené vzorky leptané v bufrované kyselině fluorovodíkové a následně analyzované pomocí zmíněných metod.
|
|
Studium katalytické dekompozice oxidu křemičitého
Štubian, Martin ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Táto práca sa zoberá štúdiom reakcie katalytickej dekompozície kremíka použitím elektrónovej mikroskopie a Augerovej spektroskopie. Práca je zameraná primárne na štúdiom fázy Au-Si, ktorá pri reakcii vzniká. V teoretickej časti je popísaný princíp použitých metód a rešerš na katalytické dekompozície kremíka. V praktickej časti sú uvedené výsledky meraní a ich interpretácie.
|
|
Luminiscenční diagnostika fotovoltaických článků
Stojan, Radek ; Frantík, Ondřej (oponent) ; Šály,, Vladimír (oponent) ; Vaněk, Jiří (vedoucí práce)
Diagnostika vad fotovoltaických článků patří ke stěžejním krokům jejich výroby. Předkládaná dizertační práce pojednává o diagnostice fotovoltaických článků pomocí zářivé rekombinace párů elektron – díra, jenž nazýváme luminiscence. Diagnostické metody využívající této lokální emise světla v infračervené oblasti mají velký inovativní potenciál. Metoda elektroluminiscence patří mezi nejpoužívanější luminiscenční metody, jejíž modifikace se používají napříč elektrotechnickým průmyslem, zvláště pak polovodičovým. Stěžejní oblast výzkumu této práce je zaměřena na nedestruktivní analýzu vyzařovaného infračerveného záření monokrystalických a polykrystalických solárních článků při různých modifikacích standardní metody elekroluminiscence. Jako detektory odezvy luminiscenčního záření jsou v rámci práce aplikovány dva typy CCD kamer. Při použití mikroskopické metody elektroluminiscence je analyzován faktor zvětšení zobrazení lokální emise v mikroploše článku a diskutován jeho přínos v kvalitativním hodnocení defektivity článku. Luminiscenční záření emitované solárními články má vlnovou povahu, což přináší potenciální možnost využití některých charakteristických vlastností vlnění jako intenzity a nově polarizace v průběhu detekce defektů v ploše solárních článků. Inovace měřícího pracoviště standardní metody elektroluminiscence k využití polarizační analýzy je jedním z cílů této práce.
|
|
Analýza fotovoltaických článků pomocí fotoluminiscence
Richter, Vladimír ; Bača, Petr (oponent) ; Vaněk, Jiří (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou fotovoltaických článků. Hlavním cílem je seznámit čtenáře s principy činnosti solárních článků a s metodami detekce defektů ovlivňujících jejich kvalitu. První část práce se věnuje především funkčním vlastnostem křemíkových článků a zkoumá možnosti, jak na těchto sktrukturách detekovat vady. Také jsou tu popsány nejčastěji používané moderní diagnostické metody. V další části jsou provedeny praktické testy fotovoltaických článků pomocí metody elektroluminiscence a fotoluminiscence. Tyto metody jsou založeny na vybuzení luminiscenčního záření v křemíku pomocí vnějšího světelného zdroje.
|
|
Inovace systému pro detekci defektů solárních článků pomocí elektroluminiscence
Lepík, Pavel ; Křivík, Petr (oponent) ; Vaněk, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá rozborem dosavadních metod detekujících plošné rozložení defektů v solárních článcích. Teoreticky i prakticky je provedena analýza výsledků zejména u metody elektroluminiscence. Inovace stávajícího systému spočívá v praktické úpravě digitálního fotoaparátu s CMOS čipem odstraněním IR filtru a následné úpravě snímku v počítači. Na základě získaných poznatků je vytvořen postup pro jednoduché nastavení parametrů pro provedení měření. Dále je vytvořen katalog defektů vyskytujících se v mono a polykrystalických solárních článcích.
|
|
Charakterizace vlastností perovskitových fotovoltaických článků
Kaliyev, Alexey ; Jandová, Kristýna (oponent) ; Novák, Vítězslav (vedoucí práce)
Práce je zaměřená na problematiku perovskitových fotovoltaických článků. V teoretické části jsou popsány vlastnosti perovskitové struktury, její složení a využití v solárních článcích. V práce je taky stručná informace o solárních článcích na bázi křemíku, z čeho následuje porovnání těchto dvou systémů. Metody měření, které jsou tady uvedeny a popsány, se používají k pochopení problematiky fotovoltaiky, stanovení účinnosti, stability a životnosti solárního článku. V praktické části práce se bude zaměřeno na aplikace těchto uvedených metod, diskuzi a hodnocení dosažených výsledků.
|
|
Polovodičové struktury, metoda nábojového sběru
Golda, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Práce pojednává o studiu struktur polovodivého křemíku. Popisuje vlastnosti tohoto prvku a vytvoření polovodiče typu P a N, dále se zabývá typy poruch krystalické mřížky. Zabývá se popisem metod sledování poruch v polovodiči, stanovení vlastností polovodičů tj. metodou EBIC, EBIV a CC, které jsou využívány k analýze polovodičových součástek a materiálů. Zjišťování vlastností křemíkových součástek probíhá pomoci generace nosičů náboje ve vzorku, vloženého do komory rastrovacího elektronového mikroskopu dopadajícími vyskoenergiovými elektrony a následným sběrem naindukovaného náboje na PN přechodu. Pomocí dat získaných metodou EBIC a CC byly vyhodnoceny difúzní délka a doba života elektronů.
|