Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 

Could not find similar documents for this query.
Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu
GÜNZEL, Martin
Tato diplomová práce je zaměřena na popis vybraných metod nanášení tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu. V současné době existuje mnoho způsobů vytváření tenkých filmů a mnoho aplikací v nejrůznějších průmyslových odvětvích. V této práci je nejprve uveden stručný přehled nanášecích metod, chování plazmatu během nanášení a následně popis principu vybraných metod nanášení vzhledem k fyzikálním a chemickým procesům. Zmiňujeme též výhody a nevýhody popisovaných nanášecích technologií a několik konkrétních příkladů jejich využití. Práce by měla přispívat k celkovému přehledu moderních nanášecích technologií, jejich rozvoji a využití v současné době, popř. možnostech využití v budoucnosti.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.