|
|
Localized oxidation of vanadium films accompanied by in-situ analysis
Spousta, Jiří ; Neuman, Jan (referee) ; Ligmajer, Filip (advisor)
V předložené diplomové práci se zabýváme popisem a aplikací námi vyvinuté metody lokální oxidace vanadových vrstev v komoře elektronového mikroskopu. K tomuto účelu používáme duté optické vlákno, které na zvolené místo na povrchu vzorku může přivést jak pracovní plyn (O\2), tak i intenzivní laserové světlo ($\lambda=532$\,nm). Po několika iteracích hledání nejvhodnější konfigurace lokálního ovlivňování povrchu vanadu (jednovláknová, případně dvouvláknová verze metody) byla jako nejvhodnější vyhodnocena varianta, ve které bylo planární duté optické vlákno (připevněné k ladičce AFM mikroskopu LiteScope od firmy NenoVision) definovaným způsobem přiblíženo k povrchu vanadové vrstvy. Blízkost povrchu a dostatečný tok pracovního plynu kapilárami dutého vlákna vedly k tomu, že se nám vanadovou vrstvu úspěšně podařilo zoxidovat. V práci jsou rovněž popsány výsledky měření Ramanovy spektroskopie takto lokálně ovlivněných vanadových vrstev, které ukázaly, že zvolená metoda, kterou jsme objevili, byla úspěšná a otevírá nové možnosti přípravy tohoto zajímavého materiálu. V práci jsou rovněž uvedeny a popsány nezbytné konstrukční úpravy stávající experimentální sestavy pro lokální oxidaci (multifunkčního systému vstřikování plynu) a popis přípravy tenkých vanadových vrstev metodou IBAD
|
guest ::
