|
|
Testování MEMS gyroskopů
Hasík, Stanislav ; Vágner,, Martin (oponent) ; Klusáček, Stanislav (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá teoretickými poznatky o konstrukcích a parametrech MEMS gyroskopů. Dále je prezentován navržený měřicí řetězec pro testování MEMS gyroskopů ve společnosti Honeywell International s.r.o. a to zejména s použitím systémů: Polytec MSA-500, goniometrických plošin a kontroléru od firmy Standa a kontroléru pro řízení Peltierových článků. Praktická část diplomové práce obsahuje popis navrženého kontroléru pro řízení teploty testovaného zařízení a také popis aplikace v prostředí LabVIEW („Measurement systém“), která se používá pro řízení pozice dvou goniometrických plošin a pro řízení Peltierových článků. Tento systém je schopen plně řídit pozici goniometrických plošin, zarovnat povrch testovaného zařízení do ideálně kolmé pozice vůči optické hlavě analyzátoru Polytec MSA-500 a také kontrolovat teplotu testovaného zařízení. Závěrečná část diplomové práce je věnována testům základních parametrů MEMS gyroskopů se zaměřením na závislost tzv. Angle Random Walk a offsetu MEMS gyroskopu na kvalitě vakua v prostředí struktury.
|
|
|
Kvalitativní srovnání MEMS snímačů vibrací
Hasík, Stanislav ; Havránek, Zdeněk (oponent) ; Klusáček, Stanislav (vedoucí práce)
Cílem této bakalářské práce je kvalitativní ověření parametrů MEMS snímačů vibrací s použitím kalibračních zařízení od firem SPECTRA a Brüel & Kjr. První část této práce se zabývá různými typy MEMS snímačů vibrací na piezorezistivním, kapacitním a tepelném principu činnosti. Dále je v práci pojednáno o primárních a sekundárních metodách kalibrace snímačů vibrací a o zařízeních používaných pro tyto metody kalibrace. Druhou částí bakalářské práce je použití kalibračních řetězců a sekundární metody kalibrace pro ověření citlivostí a teplotních závislostí tří konkrétních MEMS akcelerometrů od firem STMicroelectronics, MEMSIC a Panasonic. Naměřené charakteristiky jsou porovnány s katalogovými listy výrobců. Na konec jsou zde také uvedeny možnosti potlačení těchto teplotních vlivů.
|
|
|
System for MEMS Gyroscope Testing
Hasík, Stanislav
This paper presents fundamental information about an apparatus for tests on MEMS gyroscopes. Within the introductory section, the measurement system used to test MEMS gyroscopes at a Honeywell laboratory is characterized; the set-up comprises a Polytec MSA-500 analyzer, goniometers, and a controller. The related practical part then describes an application developed with the LabVIEW software to control the position of the goniometers. Importantly, the discussed system is able to fully control two goniometer stages and to align the MEMS device surface into an orthogonal position with respect to the Polytec MSA-500 measurement unit.
|
|
|
Kvalitativní srovnání MEMS snímačů vibrací
Hasík, Stanislav ; Havránek, Zdeněk (oponent) ; Klusáček, Stanislav (vedoucí práce)
Cílem této bakalářské práce je kvalitativní ověření parametrů MEMS snímačů vibrací s použitím kalibračních zařízení od firem SPECTRA a Brüel & Kjr. První část této práce se zabývá různými typy MEMS snímačů vibrací na piezorezistivním, kapacitním a tepelném principu činnosti. Dále je v práci pojednáno o primárních a sekundárních metodách kalibrace snímačů vibrací a o zařízeních používaných pro tyto metody kalibrace. Druhou částí bakalářské práce je použití kalibračních řetězců a sekundární metody kalibrace pro ověření citlivostí a teplotních závislostí tří konkrétních MEMS akcelerometrů od firem STMicroelectronics, MEMSIC a Panasonic. Naměřené charakteristiky jsou porovnány s katalogovými listy výrobců. Na konec jsou zde také uvedeny možnosti potlačení těchto teplotních vlivů.
|
|
|
Testování MEMS gyroskopů
Hasík, Stanislav ; Vágner,, Martin (oponent) ; Klusáček, Stanislav (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá teoretickými poznatky o konstrukcích a parametrech MEMS gyroskopů. Dále je prezentován navržený měřicí řetězec pro testování MEMS gyroskopů ve společnosti Honeywell International s.r.o. a to zejména s použitím systémů: Polytec MSA-500, goniometrických plošin a kontroléru od firmy Standa a kontroléru pro řízení Peltierových článků. Praktická část diplomové práce obsahuje popis navrženého kontroléru pro řízení teploty testovaného zařízení a také popis aplikace v prostředí LabVIEW („Measurement systém“), která se používá pro řízení pozice dvou goniometrických plošin a pro řízení Peltierových článků. Tento systém je schopen plně řídit pozici goniometrických plošin, zarovnat povrch testovaného zařízení do ideálně kolmé pozice vůči optické hlavě analyzátoru Polytec MSA-500 a také kontrolovat teplotu testovaného zařízení. Závěrečná část diplomové práce je věnována testům základních parametrů MEMS gyroskopů se zaměřením na závislost tzv. Angle Random Walk a offsetu MEMS gyroskopu na kvalitě vakua v prostředí struktury.
|
host ::
RSS.