Original title: Ověření možnosti vyšší citlivosti měření u termodynamického snímače
Translated title: Verification of the Possibility of Higher Measurement Sensitivity in a Thermodynamic Sensor
Authors: Vejman, Martin ; Lengál, Ondřej (referee) ; Otáhal, Alexandr (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2026
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zaměřuje na návrh termodynamického senzoru s využitím moderních technologií, s cílem dosažení co nejvyšší citlivosti. Hlavní součástí senzoru jsou titanové rezistory, vyrobené tenkovrstvou technologií na křemíkovém substrátu. V rámci práce jsou změřeny elektrické a tepelné vlastnosti těchto rezistorů. S ohledem na nabyté poznatky je vypracován návrh samotného senzoru a technologických postupů při jeho výrobě. Zvláštní důraz je kladen na vysokou citlivost navrhovaného senzoru. Následně je popsán proces výroby a jeho úskalí, na jejichž základě je vypracována revize návrhu. V závěru práce jsou změřeny vlastnosti vyrobených senzorů dle nově vyvinutých metod. This thesis focuses on the design of a thermodynamic sensor using modern technology, with the aim of achieving the highest possible sensitivity. The main components of the sensor are thin-film titanium resistors. Within the scope of the thesis, the electrical and thermal properties of these resistors are evaluated. Based on the acquired knowledge, the design of the sensor itself and the technological processes for its fabrication are developed. Special emphasis is placed on the high sensitivity of the proposed sensor. Subsequently, the fabrication process and its challenges are described, leading to a revised sensor design. Finally, the properties of the fabricated sensors are evaluated using newly developed measurement methods.
Keywords: bilance heater; heat measurment; high resolution; high sensitivity; sensor; temperature measurement; Thermodynamic sensor; bilanční topidlo; měření tepla; měření teploty; senzor; Termodynamický senzor; vysoká citlivost; vysoké rozlišení

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/258680

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-777482


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses