Original title: Korelativní sondová a elektronová mikroskopie
Translated title: Correlative probe and electron microscopy
Authors: Vacek, Martin ; Havlíček, Marek (referee) ; Nováček, Zdeněk (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2026
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce se zabývá korelativní sondovou a elektronovou mikroskopií. Úvodní část práce shrnuje použité techniky, na kterou navazuje část popisující instrumentaci a princip měření. Vyvinutá metoda, která využívá sondový detektor s optickým vláknem, umožňuje současně zaznamenávat topografii a signál sekundárních elektronů a zároveň mapovat intenzitu fotoluminiscence či katodoluminiscence. Připojením spektrofotometru lze navíc provádět bodová měření spektrální závislosti obou typů luminiscencí. Funkčnost metodiky a dosažení submikronového rozlišení byly úspěšně demonstrovány korelativním měřením vzorku Ce:YAG. Výsledky prokázaly vliv vlnové délky excitačního laserového záření na intenzitu signálu fotoluminiscence, ukázaly dobrou korelaci spekter fotoluminiscence a katodoluminiscence a rovněž definovaly instrumentální limity metody. This thesis focuses on correlative probe and electron microscopy. The introductory section summarizes the applied techniques, followed by a comprehensive description of the instrumentation and measurement principles. The developed method utilizes a probe detector equipped with an optical fiber, enabling the simultaneous recording of topography and secondary electron signals alongside photoluminescence or cathodoluminescence intensity mapping. Furthermore, integrating a spectrometer allows for point measurements of the spectral dependence for both luminescence types. The methodology's functionality and the achievement of submicron resolution were successfully demonstrated through correlative measurements of a Ce:YAG sample. The results further revealed the influence of the excitation laser wavelength on the photoluminescence signal intensity, demonstrated a strong correlation between the photoluminescence and cathodoluminescence spectra, and identified the instrumental limitations of the technique.
Keywords: cathodoluminiscence; Ce:YAG; CPEM; optical fiber; photoluminescence; SEM; SPM; Ce:YAG; CPEM; fotoluminiscence; katodoluminiscence; optické vlákno; SEM; SPM

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/259817

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-777061


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses