Original title: Interakce iontů inertních plynů s povrchy pevných látek studované metodou LEIS
Translated title: Interaction of noble gas ions with solid state surfaces studied by LEIS
Authors: Slovák, David ; Vaníčková, Elena (referee) ; Průša, Stanislav (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2026
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá metodou nízkoenergiového rozptylu iontů (LEIS) a její aplikací. Všechna prezentovaná data byla naměřena na spektrometru QTAC 100 od firmy IONTOF GmbH. Experimentální část práce je zaměřena na měření povrchů mědi a křemíku s nativní vrstvou oxidu a na charakterizaci fluorovaných vrstev deponovaných na křemíkových substrátech. Naměřená data ukazují povrchovou citlivost metody LEIS a její schopnost detekovat změny složení v nejvyšších atomových vrstvách. This thesis deals with the method of Low Energy Ion Scattering (LEIS) and its application. All presented data were measured using a Qtac100 spectrometer manufactured by IONTOF GmbH. The experimental part focuses on the analysis of copper and silicon surfaces with a native oxide layer and on the characterization of fluorinated layers deposited on silicon substrates. The measured data confirm the high surface sensitivity of the LEIS method and its ability to detect changes in composition within the uppermost atomic layers.
Keywords: analysis; fluorine; LEIS; sample preparation; surface; thin films; analýza; fluor; LEIS; povrch; příprava vzorku; tenké vrstvy

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/259518

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-776407


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses