Original title: Návrh a optimalizace diagnostických technik pro nízkotlaké plazmové systémy
Translated title: Design and Optimization of Diagnostic Techniques for Low-Pressure Plasma Systems
Authors: Mishra, Himanshu ; Kudrna, Pavel (advisor) ; Komm, Michael (referee) ; Vladoiu, Rodica (referee)
Document type: Doctoral theses
Year: 2025
Language: eng
Abstract: Tato práce představuje komplexní výzkum diagnostiky parametrů plazmatu v nízkoteplotních plazmových systémech prostřednictvím kombinace elektrických a optických diagnostických technik. Byla provedena srovnávací analýza měření hustoty elektronů s použitím tří různých sond - cutoff, hairpin a Langmuir v plazmatu stejnosměrného výboje (DC) generovaném železným terčem v konfiguracích plazmatu s dutou katodou. Měření byla provedena za identických experimentálních podmínek v nízkotlakém prostředí argon-kyslík (5 Pa) se systematickými změnami ve výbojovém proudu a poměrech směsí plynů. Srovnání zdůrazňuje silné stránky, omezení a konzistenci každého diagnostického přístupu v rámci provozních frekvenčních rozsahů sond. V doplňkové studii byla zkoumána interakce nízkotlakého argonového plazmatu s připravenými tenkými cínovými vrstvami za negativního předpětí substrátu jako potenciální metoda pro efektivní odstraňování cínu, což je kritický proces pro životnost komponent vystavených plazmatu v budoucích fúzních reaktorech. Cínové filmy byly nanášeny na nerezové substráty pomocí stejnosměrného magnetronového naprašování a hybridního vysoce výkonného impulzního magnetronového naprašování (HiPIMS) s pomocí elektronové cyklotronové vlnové rezonance (ECWR). Účinky plazmového ošetření byly monitorovány pomocí...
Keywords: Plasma|Optical emission spectroscopy|Langmuir probe|Hairpin probe|Cutoff probe|Plasma diagnostics|Low pressure; Plasma|Optical emission spectroscopy|Langmuir probe|Hairpin probe|Cutoff probe|Plasma diagnostics|Low pressure

Institution: Charles University Faculties (theses) (web)
Document availability information: Available in the Charles University Digital Repository.
Original record: http://hdl.handle.net/20.500.11956/204968

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-691791


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Charles University > Charles University Faculties (theses)
Academic theses (ETDs) > Doctoral theses