Original title:
Elektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIB
Translated title:
Electrotransport properties of the nanostructures fabricated by the FIB
Authors:
Ostřížek, Petr ; Kolíbalová, Eva (referee) ; Urbánek, Michal (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2011
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato práce se zabývá tvrobou nanostruktur a měřením jejich elektrotransportních vlastností. Pro tvorbu nanostruktur byly použity dvě základní metody - elektronová litografie spojená s naprašováním a fokusovaný iontový svazek ve spojení s depozicí z plynné fáze. U připravených nanostruktur - drátů byla pomocí čtyřbodové metody měřena volt-ampérová charakteristika, ze které se snadno získají hodnoty odporu materiálu. Zvoleným materiálem pro dráty připravené litografickými metodami byla slitina niklu a železa (permalloy). Materiál struktur připravených metodou depozice z plynné fáze pomocí fokusovaného iontového svazku byla platina.
The aim of this work is fabrication of nanostructures and measurement of their electrotransport properties. There are two different methods used for fabrication - electron beam lithography with sputtering of thin films and focused ion beam with deposition from gas phase. I-V characteristic was measured for characterisation of as prepared nanostructures - wires. Material of wires prepared by using of electron beam lithography was permalloy - an alloy of iron and nickel. Second types of wires prepared by using of chemical vapor deposition induced by focused ion beam was platinum based.
Keywords:
conductivity; electron lithography; Focused ion beam; elektronová litografie; Fokusovaný iontový svazek; vodivost
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/8522