Original title:
Návrh a realizace VN výkonového generátoru f=13.56 MHz
Translated title:
Design and realization of a high-voltage power generator f=13.56 MHz
Authors:
Potúček, Patrik ; Drexler, Petr (referee) ; Fiala, Pavel (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2021
Language:
slo Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[slo][eng]
Táto práca sa zaoberá návrhom, realizáciou a následným popisom oživenia vysoko napäťového výkonového generátoru pracujúceho na frekvencii f = 13.56 MHz. Súčasťou práce je tiež návrh meracej sondy, ktorej úlohou je vyhodnocovať zložky elektro-magnetického poľa do frekvencie f = 500 MHz. V práci sú taktiež spomenuté súčasné riešenia v oblasti výroby plazmy a vyhodnocovania jej parametrov.
This thesis deals with the design and practical realization of a high-voltage power generator, which works at a frequency of f = 13.56 MHz. Thesis also deals with the design of a probe dedicated to measuring the electro-magnetic spectrum of the plasma. The probe should be able to work in the frequency range of f = 0 - 500 MHz. State of the art in the field of plasma generation and plasma diagnostics are discussed.
Keywords:
electronic generator; plasma diagnostics; Plasma generating; RF plasma
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/197957