Název:
Vliv způsobu čerpání experimentální komory na průběh teploty plynu
Překlad názvu:
Influence of experimental chamber pumping on gas temperature
Autoři:
Balobanov, Damir ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2021
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Diplomová práce se zabývá problematikou čerpání v experimentální komory elektronového mikroskopu na průběh teploty plynu. V teoretické části je popsána mikroskopie obecně. Poté se práce zabývá konkrétně elektronovou mikroskopií s problematikou jejího vakuového systému, výpočetními programy a studií, ze které práce vychází. V praktické části jsou provedeny a vyhodnoceny simulace čerpání v experimentální komoře pomocí systému Ansys Fluent.
The master‘s thesis is focused on issue of pumping in the experimental pumped chambre of an environmental scanning microcope. In the theoretical part, there are presented microscopy as science. Afterwards the thesis is focused on electron microscopy and its problem and vakuum system, computer program used for preparation of simulation and study that the experimental part is based on. The experimental part contains the results of gas flow in the differential pumped chambre. The problematics were solved by Ansys Fluent system.
Klíčová slova:
Ansys Fluent; Diferenciálně čerpaná komora; Ansys Fluent; Differentially Pumped Chamber
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/197084