Original title:
SMV-2020-45: Speciální mutlivrstvy TiO2/SiO2 pro sensorické aplikace
Translated title:
SMV-2020-45: Custom TiO2/SiO2 multilayer coatings for optical sensing
Authors:
Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel Document type: Research reports
Year:
2020
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Konstrukce, vývoj a depozice vzorků interferenčních filtrů pomocí technologie vakuového napařování elektronovým svazkem. Depozice je provedena na substráty dodané zákazníkem.Design, development and deposition of interference filters using vacuum electron beam evaporation. The filters are deposited on substrates supplied by the customer.
Keywords:
e-beam evaporation; interference filters; thin film optics
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0313882