Název:
SMV-2020-31: Návrh a simulace elektronově optických prvků
Překlad názvu:
SMV-2020-31: Electron Optical Elements Design and Simulations
Autoři:
Radlička, Tomáš Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2020
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] V rámci smluvního výzkum bylo zpracováno několik studií proveditelnosti týkajících se optických vlastností elektronově optických elementů, optimalizace jejich designu a jejich možné integrace do elektronového mikroskopu. To zahrnovalo výpočet vad metodou diferenciálních algeber, výpočet rozlišení pomocí vlnově optických výpočtů a analýzu vad seřízení. Kromě designu jsme se také zabývali možností přípravy optického elementu, jehož součástí je grafénová fólie.The contractual research covered several feasibility studies in the field of electron-optical design and simulations. We studied several electron-optical elements, including calculating the electron-optical properties, optimizing the design, and possible integration into the primary beam column. We used the differential-algebraic method for the calculation of aberrations and wave-optical calculations for the analysis of resolution. We also analyzed the effect of misalignment aberrations. Besides the electron-optical design, we studied the possibility of the construction of the element with graphene foil.
Klíčová slova:
aberrations; electron optical design; resolution
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0314445