Original title:
SMV-2019-68: Implementace pokročilého řízení a Implementace opto-mechanického modulu
Translated title:
SMV-2019-68: Implementation of advanced management and Implementation of optomechanical module
Authors:
Šerý, Mojmír Document type: Research reports
Year:
2019
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] V průběhu prací smluvního výzkumu byl vytvořen modul pro dynamickou detekci vertikální polohy substrátu založené na kvadraturní detekci astigmatických vlastností svazků laserových diod a modul pokročilého řízení expoziční dávky pro zápis ve vektorovém režimu. Oba moduly byly implementovány do aparatury a jejich funkce ověřena.During the contract research work, a module for dynamic detection of vertical position of the substrate based on quadrature detection of astigmatic properties of laser diode beams and a module for advanced exposure control for writing in vector mode were created. Both modules were implemented in the apparatus and their function verified
Keywords:
detection; laser; optics
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0303770