Název:
Vývoj procesu mytí a příprava povrchu před depozicí
Překlad názvu:
Development of the cleaning process and predeposition treatment of an optical surface
Autoři:
Budasz, Jiří Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2018
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Zpráva popisuje vývoj mycího postupu substrátů pro výrobu superodrazných zrcadel. Zahrnuje také vývoj procesu ošetření povrchu ve vakuu.The report deals with a development of cleaning precedure of substrates used for producing high reflective mirrors. It involves pre-deposition treatment of the surface in vacuum chamber.
Klíčová slova:
cleaning; High reflective coatings; pre-deposition treatment Číslo projektu: FV10071 Poskytovatel projektu: GA MPO
Instituce: Ústav fyziky plazmatu AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0291698