Original title:
Imaging of Non-Conductive Samples by Means of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
Translated title:
Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Authors:
Wandrol, Petr Document type: Papers Conference/Event: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Year:
2007
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] Article deals with the problems of imaging of non-conductive samples in the SEM that are caused mainly by charging. Use of the low primary beam energy and the observation by means of backscattered electrons are proposed as methods of suppression of charging artifacts in the image. Newly developed detector of backscattered electrons for the low energy SEM is described and images of uncoated non-conductive samples without charging artifacts taken by this detector are presented.Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
Keywords:
backscattered electrons; charging; low energy SEM; non-conductive samples Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650501 (CEP) Funding provider: GA AV ČR Host item entry: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0152714