Original title:
Rozvoj aparatury pro mikroobrábění elektronovým svazkem
Translated title:
Development of the Electron beam micromachining device
Authors:
Zobač, Martin Document type: Papers Conference/Event: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Year:
2005
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Práce se zabývá problematikou obrábění materiálu pomocí intenzivního elektronového svazku ve vakuu. Hlavním cílem je studium interakce elektronového svazku s kovovými a nekovovými materiály. Nedílnou součástí je příprava experimentálního zařízení, jeho vakuové části, elektronového děla a vytvoření speciální elektroniky.The paper describes micromachining with an intense electron beam. Main goal is a study of the electron beam interaction with metallic and/or nonmetallic materials. Design of vacuum system, electron gun and electronics of the experimental device is introduced.
Keywords:
electron-beam; machining; run-time control Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111299