Název:
Transportní vlastnosti grafenových vrstev během jejich přenosu
Překlad názvu:
Transport Properties of Graphene Layers during Their Transfer
Autoři:
Gryga, Michal ; Lišková, Zuzana (oponent) ; Procházka, Pavel (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2016
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Tato bakalářská práce je zaměřena na studium transportních vlastností grafenu, který byl vyroben metodou chemické depozice z plynné fáze (Chemical Vapor Deposition, CVD) na měděné fólii a následně přenesen na křemíkový substrát s 280 nm oxidu křemičitého. V práci byl zkoumán vliv různých rozpouštědel mědi a vliv plazmatického čištění křemíkových substrátů před nanesením grafenu na jeho výslednou kvalitu.
This bachelor thesis is focused on the measurement of the transport properties of graphene, which was produced by chemical vapor deposition (CVD) method on a copper foil and subsequently transferred onto a silicon substrate covered by 280 nm of silicon dioxide. In this work we studied an influence of different types of copper etchants and influence of plasma cleaning of silicon substrates prior to the graphene deposition.
Klíčová slova:
CVD; FET.; leptání mědi; plazmatické čištění; přenos grafenu; copper etching; CVD; FET.; graphene transfer; plasma cleaning
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/60012