Original title: Detekce signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Translated title: Detection of signal electrons in ESEM
Authors: Šváb, Martin ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2012
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá problematikou činnosti environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (EREM) a detekcí signálních elektronů při vyšších tlacích v komoře vzorku mikroskopu. V práci se zaměřím na porovnání velikosti detekovaného signálu za různých podmínek v komoře vzorku, jako je změna tlaku a změna napětí na elektrodách detektoru při konstantním nastavení parametrů elektronového svazku. This bachelor's thesis deals with problems of environmental scanning electron microscopy and with detection of signal electrons at higher pressure in working chamber. In this thesis I will focus on comparison of detected signal level achieved under different working conditions.
Keywords: ESEM; ionization detector; Scanning electron microscope; EREM; ionizační detektor; Rastrovací elektronový mikroskop

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/12138

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-241800


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses