Original title:
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Translated title:
Voltage contrast method in ESEM
Authors:
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2011
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
This work contains theoretical description of basic features and principles of electron microscopy, with focus on environmental scanning electron microscopy. It describes function of the microscope, interactions that takes place after collision of electron pack with a sample, mainly it describes creation of back reflected electrons and secondary electrons and methods of voltage contrast. The practical part focus on voltage contrast issue by observing decomposition of electric potentials on surface of semiconductor devices and it establishes ideal working conditions for observing voltage contrast by scintillation detector of secondary electrons.
Keywords:
back scattered electrons (BSE).; Environmental scanning electron microscope (ESEM); ionization detector (ID); scintillation detector (SD); secondary electrons (SE); Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM); ionizační detektor (ID); scintilační detektor (SD); sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE).
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/7773