Original title:
Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al
Translated title:
Design of an effusion cell for the deposition of Al ultrathin layers
Authors:
Řihák, Radek ; Voborný, Stanislav (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2014
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem efuzní cely pro tvorbu ultrathenkých vrstev hliníku v podmínkách ultravysokého vakua. Byly navrhnuty dvě varianty lišící se typem ohřevu. První využívá energie urychlených elektronů, druhý tepelné záření. Zbylé části cel jsou plně zaměnitelné.
This Bachelor's thesis deals with design and construction of the effusion cell for deposition ultrathin layers of aluminum in ultrahigh vacuum conditions. Two types of effusion were designed. Differences are only in type of heating. The first one exploit energy of accelerated electrons and the second one exploit thermal radiation. Anothe parts of cells are fully interchangeable.
Keywords:
aluminum; atom beam; Effusion cell; MBE; UHV; ultrathin layers; atomární svazek; Efuzní cela; hliník; MBE; UH; ultratenké vrstvy
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/33302