Název:
Studium molekulárních svazků organických materiálů
Překlad názvu:
Studies of molecular beams of organic materials
Autoři:
Maniš, Jaroslav ; Průša, Stanislav (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2014
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Tato bakalářská práce se zabývá sestavením nízkoteplotní efuzní cely vhodné pro napařování organických materiálů. Je provedena kalibrace provozních teplot efuzní cely. Jsou provedeny depozice organického polovodičového materiálu a je proměřena morfologie povrchu vzniklých vrstev na AFM a SEM zařízení. Součástí práce je rešeršní studie shrnující poznatky o využití organických materiálů v polovodičovém průmyslu.
This bachelor's thesis deals with assembling of low-temperature efussion cell which is suitable for deposition of organic materials. The calibration of operating temperature of effusion cell is performed. Depositions of organic semiconductor material are realized. Morphology of surface of thin film is studied in AFM and SEM microscope. In the paper background research on the utilization of organic materials in semiconductor industry is presented.
Klíčová slova:
depozice; Efuzní cela; organické materiály; polovodiče.; deposition; Efussion cell; organic materials; semiconductors.
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/33422