Original title:
SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému
Translated title:
SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system
Authors:
Sobota, Jaroslav Document type: Research reports
Year:
2013
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému střídajícího ve dvouvrstvách molybden a křemík vytvořeného magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,2 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru pro experimenty v rentgenovém laseru PALS. 0,2 nanometry.We have developed deposition technology and implementation of multilayer system of molybdenum and silicon prepared by magnetron sputtering. Interface roughness has to be smaller than 0.2 nm and reproducibility of bilayer thickness (i.e. molybdenum and silicon) must be better that 0.1nm. This multilayer system was used as a mirror in x-ray laser PALS.
Keywords:
EUV mirror; molybdenum; silicon; sputtering
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0232026