Original title: Optimalizace depozičních parametrů za účelem vytvoření fotokatalytických titanoxidových vrstev metodou PECVD
Translated title: Optimization of deposition parameters in order to create a photocatalytic titanium oxide films produced by PECVD
Authors: PEKÁREK, Michal
Document type: Master’s theses
Year: 2013
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Cílem této diplomové práce je depozice titan oxidových vrstev metodou PECVD za pomoci vlastního PECVD reaktoru, sestaveného v budově Katedry aplikované fyziky a techniky. Dalším cílem je optimalizace parametrů depozice za cílem vytvoření fotokatalytických TiOx vrstev a srovnání těchto vrstev s dostupným výrobkem Degussa P25. Naměřené výsledky jsou v této práci prezentovány, diskutovány a odpovídají na otázku, zdali je možné metodou PECVD dosáhnout alespoň srovnatelných výsledků, jakých je dosaženo při tvorbě fotokatalytických vrstev pomocí výrobku Degussa P25. This thesis presents Photocatalytic TiOx layers created by own PECVD reactor assembled in the building of Department of Applied Physics and Technics. Parameters of depositions were optimalized as well as the PECVD reactor itself. Final layers are compared to layers made by Degussa P25. As a result based on the included measurements, this thesis tries to answer the question whether PECVD is the suitable method for depositions of photocatalytic layers.
Keywords: low-pressure deposition; PECVD; photocatalysis; photocatalytic thin films; plasma; plasma discharge; plasma reactor; surface treatment; TiO2; titanium oxide; fotokatalytické vrstvy; fotokatalýza; nízkotlaká depozice; oxid titaničitý; PECVD; plazma; plazmový reaktor; plazmový výboj; povrchová úprava; TiO2
Citation: PEKÁREK, Michal. Optimalizace depozičních parametrů za účelem vytvoření fotokatalytických titanoxidových vrstev metodou PECVD. České Budějovice, 2013. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Pedagogická fakulta

Institution: University of South Bohemia in České Budějovice (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Digital Repository of University of South Bohemia.
Original record: http://www.jcu.cz/vskp/24547

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-153375


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > University of South Bohemia in České Budějovice
Academic theses (ETDs) > Master’s theses