Název: Diamond chemical vapor deposition
Autoři: Kromka, Alexander
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Winter educational seminar /2./, Rokytnice n. J. (CZ), 2011-02-16 / 2011-02-18
Rok: 2011
Jazyk: eng
Abstrakt: Present paper reviews growth of diamond thin films by various chemical vapor deposition processes. Basic characteristics and common features of processes are pointed out with a respect to quality of grown films and standard process parameters. Novel and non-standard diamond syntheses techniques are briefly discussed.
Klíčová slova: chemical vapor deposition; diamond; hot filament; microwave plasma; thin film
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100521 (CEP), MEB0810082 (CEP), KAN400100701 (CEP), GAP108/11/0794 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA AV ČR, GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd Winter Education Seminar, ISBN 978-80-260-0911-5

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0208099

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-109901


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference