Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 14 záznamů.  1 - 10další  přejít na záznam: Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
SMV-2019-05: Fázové mřížky
Krátký, Stanislav ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Vývoj přípravy fázových mřížek pro použití ve spektroskopii materiálů. Během vývoje se prozkoumaly možnosti návrhu a přípravy fázových mřížek, které by byly naladěné na dvě odlišné vlnové délky. Teoretické simulace ukázaly, že se mřížka (hloubka mřížky) musí naladit na hodnotu mezi dvěmi zamýšlenými vlnovými délkami, aby se maximalizovaly účinnosti v prvních řádech pro obě vlnové délky. Vzorky byly následně vyrobeny pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání.
SMV-2019-04: Velkoplošné nanášení nanostruktur
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Vývoj sendvičových nanostruktur na dopovaném křemíkovém substrátu. Rozměry nanostruktur a jejich periodicita je na limitu rozměrů, které umožňuje připravit elektronový litograf Raith EBPG5000+. Na dopovaný křemíkový substrát byla připravena tenká nitridová vrstva jako maska pro následné leptání. Pomocí elektronové litografie a vakuového napařování byly nejdříve připraveny zlaté soukrytovací značky nutné pro provedení vícenásobné expozice. V dalším litografickém kroku byla naexponována maska v rezistu, přes kterou se pomocí reaktivního iontového leptání proleptala nitridová maska. Přes nitridovou masku došlo k vyleptání pyramid v křemíku. V třetím litografickém kroku byla pomocí různých strategií zápisu připravena druhá maska pro napaření hliníkové vrstvy v místech dříve vyleptaných pyramid. Proces byl dokončen provedením lift-off techniky okolní plochy.
SMV-2019-03: Tenké membrány
Krátký, Stanislav ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Vývoj technologie přípravy tenkých nitridových membrán ve velké ploše pro potřeby spektroskopie pomocí pomalých elektronů. Během vývoje se vyzkoušelo několik různých technik pro přípravu tenkých membrán – mokré leptání, reaktivní iontové leptání, plasmatické leptání a nízkofrekvenční plasmatické leptání. Zároveň byla vyvinuta technika nepřímého měření takto tenkých membrán.
Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání
Šilhan, Lukáš ; Dostál, Zbyněk (oponent) ; Šerý, Mojmír (vedoucí práce)
Záznam emisního spektra plazmatu během reaktivního iontového leptání umožňuje charakterizaci leptaných látek a kontrolu nad leptacím procesem. V rámci této diplomové práce je navržen spektroskopický systém v konfiguraci Czerny-Turner, pro použití na systému reaktivního iontového leptání. Vyvinutý spektroskop dosahuje rozlišení 1 nm v oblasti 350-800 nm. Zařízení bylo testováno během reaktivního iontového leptání křemíku.
Gecko mimicking surfaces
Fecko, Peter ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Pekárek, Jan (vedoucí práce)
Adhesive capabilities of a gecko lizard have been the subject of many studies and an inspiration for many artificial imitations and inventions. This work proposes a design version of synthetic gecko structures in a form of micro-pillars, that would have similar adhesion capabilities as gecko setae. Structures made of Parylene C polymer have been created using photolithography and silicon etching techniques. Following focus was on various methods of surface modifications and characterisation of these structures to determine the adhesion forces on their surface, before and after modifications.
SMV-2018-04: Planární mikrostruktury pro optické aplikace
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav ; Fořt, Tomáš ; Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel
Vývoj planárních mikrostruktur pro optické aplikace a následná realizace vzorků metodou elektronové litografie a dalších technik. Projekt zahrnuje studium materiálů vhodných pro vytvoření planární mikrostruktury v kovové vrstvě s ohledem na dosažitelné rozlišení a splnění požadavků na absorbanci v dané aplikaci. Elektronová litografie je použita pro vytvoření požadovaného motivu v rezistové vrstvě, která slouží jako maska pro leptání kovové vrstvy různými technikami (mokré leptání, reaktivní iontové leptání). Součástí projektu je i sepsání technické dokumentace o vyvinutých postupech a připravených vzorcích.
Controlled structuring of self-assembled polystyrene microsphere arrays by two different plasma systems
Domonkos, Mária ; Ižák, Tibor ; Stolcova, L. ; Proška, J. ; Kromka, Alexander
In this study we present a successful manipulation of microspheres by reactive ion etching (RIE). A self-assembled monolayer close-packed array of monodisperse polystyrene microspheres (PM) with diameter of 471 nm was used as the primary template. The PM templates were processed in two different RIE systems: (i) capacitively coupled radiofrequency plasma (CCP) and (ii) dual plasma system which combines CCP and pulsed linear-antenna microwave plasma (PLAMWP). The influence of process conditions on the PM geometry was systematically studied by scanning electron microscopy (SEM). It was found out that choosing optimal parameters results in a tunable diameter of PM with various shapes (from spheres to pyramid-like structures) while keeping their periodic hexagonal ordering.
Konstrukce odměřovacího systému pro systém reaktivního iontového leptání
Maňka, Tadeáš ; Antoš, Martin (oponent) ; Šerý, Mojmír (vedoucí práce)
Cílem této diplomové práce je zkonstruovat funkční odměřovací systém pro systém reaktivního iontového leptání (RIE). V práci je použit předchozí návrh Michelsonova interferometru vyvinutého na Ústavu přístrojové techniky, v.v.i. (ÚPT). Teoretická část práce se věnuje problematice interferenčních metod pro přesné měření délek. V další části je popsán proces leptání pomocí RIE. V praktické části je navržena testovací sestava z dílů firmy Thorlabs. Na ní je odzkoušena funkčnost a přesnost měření je porovnána s profilometrem. Dalším krokem je optimalizace navržené sestavy. Byla vytvořena technická dokumentace a vyrobena odměřovací aparatura na míru pro účely pracovníků ÚPT.
Applications of self-assembled 2D polystyrene nanosphere arrays
Domonkos, Mária ; Ižák, Tibor ; Demo, Pavel ; Kromka, Alexander
In this study nanosphere lithography (NSL) is demonstrated to be a low-cost, parallel and material independent fabrication process for creating periodic arrays of nanostructures using self-assembled nanospheres as templates. SA is the most feasible way to fabricate 2D or 3D colloidal crystals on large areas. After the mask preparation NSL uses different steps of plasma etching and deposition processes. The resulting patterned nanostructures have a wide range of applications in many important areas such as photonics, antireflection, surface wetting, biological and chemical sensing, solar cells, etc. This study focuses on an overview of applications of 2D colloidal crystals. First, structuring of substrate surfaces and the creation of various nano-objects (nanotips, nanopillars, nanocones) is shown. Next, direct growth of patterned structures (graphene nanomesh and diamond structures) is pointed out.

Národní úložiště šedé literatury : Nalezeno 14 záznamů.   1 - 10další  přejít na záznam:
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.