|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (referee) ; Potoček, Michal (advisor)
Tato práce se zabývá automatizací vyhodnocování dat termální desorpční spektroskopie (TDS). Teoretická část pojednává o procesích adsorpce a desorpce atomů a molekul a teplotní závislosti desorpce. Součástí práce je také kvantitativní analýza signálu měřícího přístroje. Hlavním cílem praktické části bylo vytvoření počítačového programu na automatizaci vyhodnocování dat TDS. Popis programu a uživatelská příručka jsou také součástí práce. Proběhlo testování programu na předchozích měření a kinetické parametry desorpce byly zjištěny u několika vzorků.
|
|
|
Electrostatic Deflection and Correction Systems
Badin, Viktor ; Oral, Martin (referee) ; Zlámal, Jakub (advisor)
The aim of this master's thesis is to explore and study dynamic aberration correction options in electron-beam lithography systems. For the calculations, the thesis uses the optical column of the BS600 electron-beam writer. The thesis focuses on corrections of the third order field curvature, astigmatism, and distortion aberrations of the currently used magnetic deflection system and a newly designed electrostatic deflection system. The parameters of the two deflection and correction systems were compared.
|
|
|
Parasitic Aberrations of Electrostatic Deflectors
Badin, Viktor ; Radlička, Tomáš (referee) ; Sháněl, Ondřej (referee) ; Lencová, Bohumila (advisor)
Tato disertační práce se zabývá parazitickými aberacemi elektrostatických multipólových optických prvků vznikajícími v důsledku nepřesného seřízení elektrod. Přesnost výroby a seřízení mechanických částí může mít významný vliv na rozlišení elektronových mikroskopů a litografických systémů. Nepřesnosti výroby, chyby justáže a všechna další narušení symetrie generují takzvaná parazitická pole, jejichž účinky na elektronový svazek se označují jako vady seřízení. Poruchy osově souměrných čoček se obvykle řeší pomocí Sturrockova principu. Posunutí nebo naklonění celých multipólových prvků lze analyzovat v globálně posunutém nebo nakloněném souřadnicovém systému. Tato práce se zabývá vadami seřízení jednotlivých elektrod, které nelze jednoduše popsat zmíněnými přístupy, a obvykle je potřeba je řešit ve 3D. Výpočty ve 3D jsou obecně pomalejší a mají vyšší výpočetní nároky než 2D nástroje standardně používané v softwaru pro částicovou optiku. Pro výpočet parazitických polí generovaných nesprávně seřízenými elektrodami byla v této práci vyvinuta 2D perturbační metoda, kompatibilní s metodou konečných prvků, založená na lokálním posunutí souřadného systému u perturbované elektrody. Byly studovány nepřesnosti vzniklé posuvem elektrody v každé ose cylindrického souřadného systému (podélné, radiální a azimutální). Dále byly ukázány možné aplikace odvozené obecné metody, např. elipticita a příčný posun celého deflektoru. Pro každý z těchto případů jsou výsledné parazitické osové potenciály vypočítané 2D metodou a porovnány s 3D řešením. Kromě srovnání parazitických osových potenciálů byl také ukázán vliv vad seřízení na stopu elektronového svazku procházející optickou soustavou elektronového litografu. Ověření 3D výpočtem bylo v dobré shodě s 2D metodou. Navržený způsob výpočtu parazitických polí ve 2D umožňuje porozumět vlivům různých výrobních a montážních tolerancí, charakterizovat tyto vlivy, navrhnout zařízení potřebná pro korekci vzniklých aberací a optimalizovat požadavky na mechanické tolerance. Vyvinutá metoda je použitelná na jakémkoli standardním PC a je o 1--2 řády rychlejší než řešení porušeného systému ve 3D.
|
|
|
Electrostatic Deflection and Correction Systems
Badin, Viktor ; Oral, Martin (referee) ; Zlámal, Jakub (advisor)
The aim of this master's thesis is to explore and study dynamic aberration correction options in electron-beam lithography systems. For the calculations, the thesis uses the optical column of the BS600 electron-beam writer. The thesis focuses on corrections of the third order field curvature, astigmatism, and distortion aberrations of the currently used magnetic deflection system and a newly designed electrostatic deflection system. The parameters of the two deflection and correction systems were compared.
|
|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (referee) ; Potoček, Michal (advisor)
Tato práce se zabývá automatizací vyhodnocování dat termální desorpční spektroskopie (TDS). Teoretická část pojednává o procesích adsorpce a desorpce atomů a molekul a teplotní závislosti desorpce. Součástí práce je také kvantitativní analýza signálu měřícího přístroje. Hlavním cílem praktické části bylo vytvoření počítačového programu na automatizaci vyhodnocování dat TDS. Popis programu a uživatelská příručka jsou také součástí práce. Proběhlo testování programu na předchozích měření a kinetické parametry desorpce byly zjištěny u několika vzorků.
|
guest ::
RSS feed.