|
|
Charakterizace nanostruktur deponovaných PVD a CVD technologiemi
Fořt, Tomáš ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; RNDr.Vilma Buršíková, Ph.D. (oponent) ; Sobota, Jaroslav (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá mechanickými vlastnostmi tenkých otěru odolných tvrdých vrstev. Představuje metodu dynamického testování tenkých tvrdých vrstev na nově zkonstruovaném prototypu dynamického měřiče otěru. Přináší srovnání se standardními metodami zkoušení vrstev a doplňuje je o nové experimentální výsledky dynamických testů vrstev. V neposlední řadě se zabývá preparačními technikami vrstvových systémů nanesených na různé podložky a jejich charakterizace pomocí optické a elektronové mikroskopie.
|
|
|
Pracoviště pro testování solárních článků metodou LBIC
Harašta, Tomáš ; Jandová, Kristýna (oponent) ; Fořt, Tomáš (vedoucí práce)
Obsahem této diplomové práce je úvod do solární problematiky, s následným zaměřením na solární články a reflexe jejich vad. Další část je věnována diagnostické metodě LBIC (Light Beam Induced Current), která pomáhá zjišťovat vady solárních článků. Práce se zabývá aplikací této metody v komplexním pohledu, od sestavení pracoviště, přes hardware po software. Poslední část je zaměřena na výsledky měření a analýzu.
|
|
|
Reaktivní naprašování vrstev Al2O3
Dušek, Jan ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Fořt, Tomáš (vedoucí práce)
Diplomová práce popisuje technologii pulzního magnetronového naprašování vrstev Al2O3. Dále se tato práce zabývá návrhem depozičního procesu a jeho testováním pro nový hliníkový terč. Testováním bylo určeno technologické okno nového terče. Díky tomu bylo možné vytvořit vrstvy Al2O3 v nejširším možném pracovním rozmezí. Vrstvy vytvořené pomocí aparatury PLS 160 byly podrobeny testování optických vlastností pro získání propustnosti vrstvy. Kromě optických testů bylo provedeno vyhodnocení mechanických vlastností a adheze. Získané výsledky z jednotlivých měření byly vyhodnoceny. Podle získaných výsledků vlastností vrstev byl proveden návrh potenciálních aplikací, pro které by bylo možné vrstvu použít.
|
|
| |
|
| |
|
|
Thermal stability of Ti/Ni multilayer thin films
Václavík, R. ; Zábranský, L. ; Souček, P. ; Sťahel, P. ; Buršík, Jiří ; Fořt, Tomáš ; Buršíková, V.
In this work, thermal stability and mechanical properties of Ti/Ni multilayer thin films were studied. The multilayer thin films were synthesised by alternately depositing Ti and Ni layers using magnetron sputtering. The thickness of constituent layers of Ti and Ni varied from 1.7 nm to 10 nm, and one coating was deposited by simultaneous sputtering of both targets. Single crystalline silicon was used as a substrate. The effects of thermal treatment on the mechanical properties were studied using nanoindentation and discussed in relation to microstructure evaluated by X-ray diffraction. Annealing was carried out under low-pressure conditions for 2 hours in the range of 100-800 degrees C.
|
|
| |
|
|
SMV-2019-16: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého EUV systému
Fořt, Tomáš
Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvých systémů střídajících ve dvojvrstvách hořčík a křemík popřípadě molybden a křemík vytvořené magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,1 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru. Mnohovrstvý systém byl použit jako EUV zrcadlo.
|
|
|
Study of mechanical properties of nanolayered Ti/Ni coatings
Zábranský, L. ; Václavík, R. ; Přibyl, R. ; Ženíšek, J. ; Souček, P. ; Buršík, Jiří ; Fořt, Tomáš ; Buršíková, V.
The aim of the present work was to study the dependence of mechanical properties of Ti/Ni multilayer thin films on the thicknesses of constituent Ti and Ni layers. The multilayer thin films were synthesized by deposition of Ti and Ni layers alternately on single crystalline silicon substrates using direct current magnetron sputtering method. Thicknesses of Ti and Ni layers varied from 1.7 nm to 100 nm. The micro-structure of the multilayer films was studied using X-ray diffraction technique, scanning electron microscopy with focused ion beam technique and transmission electron microscopy. Mechanical properties obtained from nanoindentation experiments were discussed in relation to microstructural observations.
|
|
|
SMV-2018-04: Planární mikrostruktury pro optické aplikace
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav ; Fořt, Tomáš ; Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel
Vývoj planárních mikrostruktur pro optické aplikace a následná realizace vzorků metodou elektronové litografie a dalších technik. Projekt zahrnuje studium materiálů vhodných pro vytvoření planární mikrostruktury v kovové vrstvě s ohledem na dosažitelné rozlišení a splnění požadavků na absorbanci v dané aplikaci. Elektronová litografie je použita pro vytvoření požadovaného motivu v rezistové vrstvě, která slouží jako maska pro leptání kovové vrstvy různými technikami (mokré leptání, reaktivní iontové leptání). Součástí projektu je i sepsání technické dokumentace o vyvinutých postupech a připravených vzorcích.
|
host ::
RSS.