Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Modernizace aparatury IBAD
Urbánek, Ivan ; Nebojsa, Alois (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Tato diplomová práce je rozdělena do tří hlavních částí věnujících se naprašování tenkých vrstev za pomoci iontového svazku. V první části je uveden popis aparatury IBAD na ÚFI FSI VUT Brno a principy depozičního procesu. Je zde také popsáno podrobné ovládání IBAD aparatury při depozici. Další část se věnuje měření depozičních rychlostí při iontovém naprašování za účelem zpřesnění depozic tenkých vrstev. Poslední část se zabývá plánovanými a již dokončenými konstrukčními úpravami, které mají za cíl zlepšit kvalitu a rychlost depozice tenkých vrstev. Změny zahrnují možnost zaclonění substrátu, výměnu vstupní příruby, návrh nové zakládací komory s multifunkčním držákem substrátů a umožnění ovládání aparatury přes počítač.

Viz též: podobná jména autorů
1 Urbánek, Ivo
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.