|
|
Automatizace a řízení depozice multivrstev metodou IBS/IBAD
Pavera, Michal ; Sobota, Jaroslav (oponent) ; Urbánek, Michal (vedoucí práce)
Předkládaná diplomová práce se zabývá automatizací depozičního procesu metodou iontového naprašování a iontového naprašování za použití asistujícího iontového svazku. Práce obsahuje výkresovou dokumentaci mechanických úprav depoziční komory navržených za účelem ovládání clony substrátu a otáčení terče pomocí krokových motorů. Jsou prezentovány způsoby ovládání krokových motorů a řešeny problémy s jejich přesným nastavením. Dalším úkolem je návrh systému pro počítačové řízení depozičního procesu. Jsou diskutovány způsoby ovládání iontových zdrojů, měrky tlaku, průtokoměru, tloušťkoměru a jejich propojení s počítačem prostřednictvím sběrnice RS-232 a analogově digitálních převodníků. Dále je navržen ovládací program v programovacím nástroji LabVIEW, s jehož pomocí je možná automatická depozice multivrstev. Na závěr je provedeno testování automatické depozice a výsledky jsou komentovány.
|
|
|
Charakterizace nanostruktur deponovaných PVD a CVD technologiemi
Fořt, Tomáš ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; RNDr.Vilma Buršíková, Ph.D. (oponent) ; Sobota, Jaroslav (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá mechanickými vlastnostmi tenkých otěru odolných tvrdých vrstev. Představuje metodu dynamického testování tenkých tvrdých vrstev na nově zkonstruovaném prototypu dynamického měřiče otěru. Přináší srovnání se standardními metodami zkoušení vrstev a doplňuje je o nové experimentální výsledky dynamických testů vrstev. V neposlední řadě se zabývá preparačními technikami vrstvových systémů nanesených na různé podložky a jejich charakterizace pomocí optické a elektronové mikroskopie.
|
|
|
18th International Conference on Transport & Sedimentation of Solid Particles
Sobota, J. ; Vlasák, Pavel ; Matoušek, Václav
The Proceedings comprise text of 50 oral contributions dealing with two-phase and multiphase flows, Newtonian and non-Newtonian flows, designing, optimization and operation of hydrotransport and pneumotransport systems, wear and corrosions, pumps and valves, sediment transport in rivers and water reservoirs, hydraulic storage of tailings, sedimentation and thickening, methods and techniques of measurement, instrumentation for laboratory, field and industrial systems.
|
|
|
Detecting plasticity in al thin films by means of bulge test
Holzer, Jakub ; Pikálek, Tomáš ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Tinoco, H.A. ; Chlupová, Alice ; Náhlík, Luboš ; Sobota, Jaroslav ; Fořt, Tomáš ; Kruml, Tomáš
The Bulge test proved to be a useful tool for measuring elastic properties of thin films and\nfree standing membranes, particularly Young’s modulus and residual stress. The basic principle\nof bulge test is application of differential pressure on one side of the a membrane, measurement of\nthe shape of bulged surface as a function of pressure, in this case via laser interferometer, and\nevaluation of a pressure-deflection relationship. In this study, bilayer membrane consisting of a\nsilicon nitride supporting layer and an aluminium layer deposited by means of magnetron\nsputtering is subjected to the bulge test. The results clearly show signs of a non-linear behavior\nthat is caused by plastic deformation in the aluminium layer. Finite element analysis is being\ndeveloped to describe this behavior because analytical model using deflection of central point and\npressure relation falls apart in case of non-linearity.
|
|
|
Reflectivity of a mirror in XUV spectral region (46.9 nm).
Schmidt, Jiří ; Koláček, Karel ; Štraus, Jaroslav ; Frolov, Oleksandr ; Prukner, Václav ; Melich, Radek ; Psota, Pavel ; Sobota, Jaroslav ; Fořt, Tomáš
A focusing mirror as an optical element is used in our applications that require light collection (e.g. for laser ablation studies). A knowledge of the mirror reflectivity is important for determination of focused laser pulse energy, or for determination of local fluencies near the laser focus. The reflectivity of our spherical focusing mirror with(/without) multi-layer coating was measured. Reflection coefficients of this mirror in a long period of time are also reported. Further, the incidence-angle dependence of the XUV reflectivity of flat mirrors is presented as well.
|
|
| |
|
|
Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán
Pikálek, Tomáš ; Holzer, Jakub ; Tinoco, H.A. ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Chlupová, Alice ; Náhlík, Luboš ; Sobota, Jaroslav ; Fořt, Tomáš ; Kruml, Tomáš
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém.
|
|
|
Impaktní odolnost nanokompozitivních Mo-B-C a W-B-C povlaků připravených metodou magnetronového naprašování
Fořt, Tomáš ; Grossman, Jan ; Daniel, Josef ; Sobota, Jaroslav ; Dupák, Libor ; Buršíková, V. ; Zábranský, L. ; Souček, L. ; Mirzaei, S. ; Alishahi, M. ; Vašina, P. ; Buršík, Jiří
V poslední době se díky svým význačným vlastnostem stávají ternární vrstvy boridů a karbidů X-B-C (X = Mo, W a Ta) objektem výzkumu jak na úrovni teoretických výpočtů, tak experimentálních prací. V případě stechiometrie mají vrstvy X2BC s X = Mo, W a Ta díky své výrazné tuhosti a houževnatosti velký potenciál pro uplatnění jako ochranné povlaky řezných a obráběcích nástrojů. Tato práce je zaměřena na nanostrukturované Mo-B-C a W-B-C vrstvy nanesené magnetronovým naprašováním na substrát z rychlořezné oceli (HSS). Mechanické vlastnosti vrstev byly zjištěny nanoindentační zkouškou jak ve statickém, tak v dynamickém režimu. V práci je diskutován elastický modul, tvrdost vrstev a jejich odolnost vůči vzniku trhlin. Výsledky odolnosti Mo-B-C a W-B-C vrstev vůči vzniku a šíření trhlin z indentačních zkoušek byly srovnány s výsledky z dynamických impaktních testů.
|
|
| |
|
|
Charakterizace nanostruktur deponovaných PVD a CVD technologiemi
Fořt, Tomáš ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; RNDr.Vilma Buršíková, Ph.D. (oponent) ; Sobota, Jaroslav (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá mechanickými vlastnostmi tenkých otěru odolných tvrdých vrstev. Představuje metodu dynamického testování tenkých tvrdých vrstev na nově zkonstruovaném prototypu dynamického měřiče otěru. Přináší srovnání se standardními metodami zkoušení vrstev a doplňuje je o nové experimentální výsledky dynamických testů vrstev. V neposlední řadě se zabývá preparačními technikami vrstvových systémů nanesených na různé podložky a jejich charakterizace pomocí optické a elektronové mikroskopie.
|
host ::
RSS.