|
|
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM. Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
|
|
|
Depozice Ga nanostruktur na grafenové membrány
Severa, Jiří ; Mikulík, Petr (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá přípravou grafenových membrán pro depozici atomů galliametodou molekulární svazkové epitaxe. V první části jsou nejprve popsány vlastnostigrafenu a metody jeho výroby. Druhá část je zaměřena na grafenové membrány, jejichspecifické vlastnosti, aplikace a způsoby výroby. Třetí část práce popisuje teorii růstutenkých vrstev. Praktická část práce je zaměřena na přípravu grafenových membrán,která spočívala v překrytí mikrodutin v křemíkovém substrátu grafenovou vrstvou. ktomu byl použit mechanicky exfoliovaný a CVD grafen Na takové membrány bylo následnědeponováno gallium technikou molekulární svazkové epitaxe a in situ pozorována pomocírastrovací elektronové mikroskopie.
|
|
|
Vytváření nanostruktur na površích pevných látek hybridními metodami
Rudolfová, Zdena ; Mikulík, Petr (oponent) ; Horová, Ivana (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá studiem vlastností GaAs povrchu a metodikou nanášení kovových (převážně zlatých) nanočástic na GaAs substrát. GaAs má složitou strukturu povrchových oxidů, které jsou při kontaktu s různými chemickými látkami (ať už kyselými nebo zása- ditými) velmi reaktivní a mění tak povrchové vlastnosti GaAs. Proto je studium těchto vlastností klíčové pro pochopení reaktivity GaAs povrchu na koloidní roztok kovových nanočástic, ze kterého se tyto nanočástice na povrch nanáší. Jsou diskutovány možnosti leptání a pasivace GaAs povrchu za účelem zajištění stability povrchu při nanášení ko- loidních nanočástic. Dále byl zkoumán vliv adhezních polymerů nanesených na povrch GaAs na množství nanočástic přichycených na povrch po ponoření substrátu do koloid- ního roztoku. Pro objektivní zhodnocení homogenity rozmístění nanočástic na povrchu byla vytvořena metoda pracující na principu Voroného mozaiky. Díky této metodě lze ob- jektivně srovnávat adhezi nanočástic na různě modifikované povrchy. Dále lze analyzovat anizotropie nanočástic na povrchu, tedy, zda je homogenita ve všech směrech stejná, či zda je pozorovatelná určitá směrovost. Dalším zaměřením této práce je analyzovat možnosti, jak zlaté koloidní nanočástice nanést na GaAs výběrově, tedy pouze na předem určená místa. Tato místa byla určena pomocí expozice svazkem nabitých částic.
|
|
|
Design and adaptation of electron microscope accessories for in-situ experiments
Drozd, Michal ; Mikulík, Petr (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
Efficient catalysts, in combination with an optimized reaction and total plant design, are the key factors in reducing both the investment and operational costs of chemical processes. the catalysts can be further developed thanks to advanced experimental techniques. One of them is in-situ electron microscopy. This work deals with the development of automatic heating of the sample in the electron microscope chamber, automatic supply of reactants and measurements of partial pressures in the chamber. Furthermore, the approach of an environmental scanning microscope using laser sample heating is compared with an ultra-high vacuum scanning electron microscope, where resistive heating is used to control the sample temperature.
|
|
|
Výroba polovodičových součástek na křemíku
Ježek, Vladimír ; Mikulík, Petr (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou základních technologií a procesů pro výrobu polovodičových součástek na křemíkovém substrátu. Uvádí procesy vytváření vrstvy oxidu křemičitého pomocí oxidace, vytváření struktur pomocí fotolitografie, dotování příměsí do oblastí vymezených fotolitografií pomocí difúze až po vytváření kontaktů a vodivých cest naprašováním. Dále se zabývá technologickým postupem výroby konkrétních součástek na křemíku, popisem těchto součástek i měřením, výpočtem růstu oxidu křemičitého, výpočtem difúze. Výsledkem jsou naměřené charakteristiky charakteristik součástek plus jejich vyhodnocení.
|
|
|
Aplikace fokusovaného iontového a elektronového svazku v nanotechnologiích
Šamořil, Tomáš ; Mikulík, Petr (oponent) ; Jiruše, Jaroslav (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
Systémy pracující současně s fokusovanými elektronovými a iontovými svazky jsou v dnešní době velmi důležitými nástroji v oblasti mikro- a nanotechnologií. Kromě zobrazování a analýzy vzorků je lze rovněž využít k litografii, jejíž aplikací jsou připravovány struktury požadovaného tvaru a rozměrů v mikrometrovém až nanometrovém měřítku. Práce nejprve pojednává o jedné z litografických metod – depozici indukované fokusovaným elektronovým nebo iontovým svazkem, u níž je hledáno optimální nastavení podmínek expozice a studována kvalita deponovaných kovových struktur z hlediska tvaru a prvkového složení. Následně je věnována pozornost i dalším typům litografických metod (elektronová, iontová), které jsou aplikovány k přípravě leptacích masek pro následné selektivní mokré leptání monokrystalického křemíku. Kromě optimalizace tohoto procesu je studováno využití leptaného povrchu Si např. pro pozdější selektivní růst kovových materiálů. U leptaných, tvarově a rozměrově definovaných 2D, resp. 3D struktur je studium v některých případech zaměřeno i na jejich funkční vlastnosti.
|
|
|
Kombinovaná elektronová litografie
Krátký, Stanislav ; Mikulík, Petr (oponent) ; Škereň,, Marek (oponent) ; Kolařík, Vladimír (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá reliéfní elektronovou litografií a přípravou difrakčních optických elementů. Řešena jsou tři témata. Prvním tématem je reliéfní kombinovaná elektronová litografie, kde je cílem zkombinovat expozice dvou systémů s rozdílnou energií elektronů primárního svazku. Kombinovaná technika vede k efektivnějšímu využití jednotlivých systémů, kdy se různé struktury lépe připravují jinými energiemi elektronů v primárním svazku. Dalším tématem je optimalizace hranic objektů exponovaných struktur, které jsou definovány obrazovými vstupy. Zkoumá se vliv této optimalizace na rychlost přípravy expozičních dat, na dobu expozice a na optickou odezvu testovaných struktur. Třetím tématem je zkoumání možností přípravy hlubokých víceúrovňových difrakčních optických elementů do bloků plexiskla, jako náhrada soustavy rezist/substrát. S tím se pojí nový způsob zápisu, který minimalizuje teplotní zátěž na plexisklo během expozice elektronovým svazkem a zároveň zvyšuje homogenitu výsledného motivu. V této části byla dále navržena metoda výpočtu expozičních dávek specifických víceúrovňových struktur vycházející z existujících modelů pro výpočet korekcí jevu blízkosti, která minimalizuje čas výpočtu expozičních dávek.
|
|
|
Integration of nanostructures into functional devices
Citterberg, Daniel ; Mikulík, Petr (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
This master thesis is focused on characterization of electrical transport properties of one-dimensional nanostructures. First section of this work deals with theoretical description of the experimental approaches to realization of such measurements. This section involves also a detail discussion of preparation of contacts using e-beam lithography. Next, theoretical description of characterization of nanostructures using photoluminescence measurements is given. Second section describes practical application of the aforementioned electrical transport measurements. Presented results include transport and photoluminescence measurements of WS2 nanotubes, InAs and WO2.72 nanowires. The last section of this thesis deals with nanowire quantum well heterostructures. The section provides both a deeper theoretical view of the problem and results of the photoluminescence measurements are shown.
|
|
|
Rozšíření analyzátoru stylových předpisů CSS3
Mikulík, Petr ; Bartík, Vladimír (oponent) ; Burget, Radek (vedoucí práce)
Práce rozšiřuje již existující open source projekt CSSBox přidáním podpory parseru jStyleParser o nové CSS3 vlastnosti. Konkrétně byla přidána podpora pro efekt stínu elementu, dále mřížkové rozložení a nakonec CSS animace a přechody. Práce je stejně jako původní projekt psána v jazyce Java a sestává ze série datových struktur, implementačních metod a testovacích tříd. Výsledkem práce je git pull request v systému Github.com nad původním repozitářem. Veškeré změny, související s touto prací, jsou již aplikovány do projektu a jsou tedy jeho součástí.
|
|
|
Microdefects in Czochralski Silicon
Válek, Lukáš ; Fejfar, Antonín (oponent) ; Mikulík, Petr (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
The doctoral thesis deals with analyses of defects in single crystals of Czochralski silicon doped with boron. Mechanisms of formation of circular patterns of oxidation induced stacking faults are studied. The main goal of the work is to explain the mechanisms of formation of the observed defect patterns and to develop methods for control of this phenomenon. Mechanisms of defect formation in silicon are analyzed and the material is experimentally studied in order to explain relations between formation of defects of various kinds and to link these processes to parameters of the crystal and its growth. A qualitative model capturing all these relations is built and utilized to develop an optimized crystal growth process for suppression of excessive formation of the oxidation induced stacking faults. Novel methods are developed and implemented to support effective analyses of crystal defects. This doctoral thesis was written with the support of ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhoštěm.
|
host ::
RSS.