Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 3 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Depozice tenkých vrstev Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody
Hubička, Zdeněk ; Virostko, Petr ; Olejníček, Jiří ; Deyneka, Alexander ; Adámek, Petr ; Valvoda, V. ; Jastrabík, Lubomír ; Šícha, Miloš ; Tichý, M.
Nízkotlaký systém dvou plazmových trysek s efektem duté katody byl použit pro depozice feroelektrických tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO). V keramických tryskách vyrobených z SrTiO3 a BaTiO3 byl zapálen pulzně modulovaný RF výboj s efektem duté katody. Chemické složení vrstev BSTO bylo kontrolováno pomocí středního výkonu přiváděného na jednotlivé trysky. Rentgenová difrakce potvrdila, že deponované tenké vrstvy BSTO jsou polykrystalické s perovskitovskou strukturou. Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou a měřák impedance byly použity pro ´in situ´ kontrolu depozičních podmínek.

Viz též: podobná jména autorů
4 Sicha, Marek
2 Šicha, Martin
2 ŠÍCHA, Martin
1 Šícha, M.
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.