|
|
Use of a special optical fiber in an electron microscope chamber
Černek, Ondrej ; Konečný, Martin (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is concerned about the modification of vacuum chamber of the Scanning Electron Microscope VEGA developed by TESCAN Brno s.r.o. in order to implementation of Scanning Probe Microscope. Moreover, it is dedicated to development of apparatus for using hollow optical fiber allowing the guidance of light and various gases on the sample surface placed in the vacuum of electron microscope. By using the hollow optical fiber as a probe of Scanning Probe Microscope, it is possible to work with a tip with specific properties. A brief introduction to Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy is presented in the theoretical part. Furthermore, there is a technique of using optical fibers in Scanning Near-field Optical Microscopy described. Also a problem of vacuum systems, gas flow through the pipe and technique of Gas Injection System is introduced. In the construction part, there are initiated steps in the development of the vacuum chamber and the apparatus allowing the guidance of hollow optical fiber into the chamber of microscope. The experimental part presents the result of measurements obtained by probe of Scanning Probe Microscope with modified optical fiber and gas transmissivity of hollow optical fiber.
|
|
|
Korelativní měření katodoluminiscence za použití technik SEM a SPM
Černek, Ondrej ; Knápek, Alexandr (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práca sa zaoberá kombinovaným použitím techník SEM a SPM za použitia optického vlákna, ktoré slúži k zberu katódoluminiscenčného signálu v tesnej blízkosti vzorky. Práca taktiež obsahuje rešeršnú časť, v ktorej je uvedený popis CPEM techniky, ďalej sú uvedené použité techniky potrebné pre úpravu optického vlákna, teoretický úvod do katódoluminiscencie a zaužívané techniky pre jej meranie. V praktickej časti sú diskutované získané výsledky meraní a problémy, ktoré nastali počas procesu úpravy optického vlákna, jeho použití ako sondy SPM a pri samotnom meraní materiálov vykazujúcich katódoluminiscenciu.
|
|
|
Výzkum pokročilých mikroskopických a litografických technik AFM
Vaněk, Kamil ; Černek, Ondrej (oponent) ; Nováček, Zdeněk (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá testováním a úpravami environmentální komory pro mikroskop atomárních sil NTegra Prima a implementací dutých sond FluidFM do tohoto mikroskopu. Funkční implementace dutých sond do NTegra Prima spolu s možností řídit okolní atmosféru umožní provádět nanolitografické experimenty s danou sestavou. Nejprve je zmapován vývoj dutých sond a systému FluidFM. Jsou zmíněny jejich vlastnosti a uplatnění. V další části je představena použitá AFM sestava a environmentální komora. Je popsáno testování komory a navržené a realizované úpravy této komory. Byla úspěšně zajištěna plná funkčnost environmentální komory. Dále jsou uvedeny a zhodnoceny výsledky měření v nízkém vakuu. Na závěr je prezentována úspěšná implementace duté sondy do mikroskopu a výsledky měření topografie touto sondou. Výsledky tohoto měření dutou sondou jsou porovnány s měřením sondou normální.
|
|
|
Výzkum pokročilých mikroskopických a litografických technik AFM
Vaněk, Kamil ; Černek, Ondrej (oponent) ; Nováček, Zdeněk (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá testováním a úpravami environmentální komory pro mikroskop atomárních sil NTegra Prima a implementací dutých sond FluidFM do tohoto mikroskopu. Funkční implementace dutých sond do NTegra Prima spolu s možností řídit okolní atmosféru umožní provádět nanolitografické experimenty s danou sestavou. Nejprve je zmapován vývoj dutých sond a systému FluidFM. Jsou zmíněny jejich vlastnosti a uplatnění. V další části je představena použitá AFM sestava a environmentální komora. Je popsáno testování komory a navržené a realizované úpravy této komory. Byla úspěšně zajištěna plná funkčnost environmentální komory. Dále jsou uvedeny a zhodnoceny výsledky měření v nízkém vakuu. Na závěr je prezentována úspěšná implementace duté sondy do mikroskopu a výsledky měření topografie touto sondou. Výsledky tohoto měření dutou sondou jsou porovnány s měřením sondou normální.
|
|
|
Korelativní měření katodoluminiscence za použití technik SEM a SPM
Černek, Ondrej ; Knápek, Alexandr (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práca sa zaoberá kombinovaným použitím techník SEM a SPM za použitia optického vlákna, ktoré slúži k zberu katódoluminiscenčného signálu v tesnej blízkosti vzorky. Práca taktiež obsahuje rešeršnú časť, v ktorej je uvedený popis CPEM techniky, ďalej sú uvedené použité techniky potrebné pre úpravu optického vlákna, teoretický úvod do katódoluminiscencie a zaužívané techniky pre jej meranie. V praktickej časti sú diskutované získané výsledky meraní a problémy, ktoré nastali počas procesu úpravy optického vlákna, jeho použití ako sondy SPM a pri samotnom meraní materiálov vykazujúcich katódoluminiscenciu.
|
|
|
Use of a special optical fiber in an electron microscope chamber
Černek, Ondrej ; Konečný, Martin (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is concerned about the modification of vacuum chamber of the Scanning Electron Microscope VEGA developed by TESCAN Brno s.r.o. in order to implementation of Scanning Probe Microscope. Moreover, it is dedicated to development of apparatus for using hollow optical fiber allowing the guidance of light and various gases on the sample surface placed in the vacuum of electron microscope. By using the hollow optical fiber as a probe of Scanning Probe Microscope, it is possible to work with a tip with specific properties. A brief introduction to Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy is presented in the theoretical part. Furthermore, there is a technique of using optical fibers in Scanning Near-field Optical Microscopy described. Also a problem of vacuum systems, gas flow through the pipe and technique of Gas Injection System is introduced. In the construction part, there are initiated steps in the development of the vacuum chamber and the apparatus allowing the guidance of hollow optical fiber into the chamber of microscope. The experimental part presents the result of measurements obtained by probe of Scanning Probe Microscope with modified optical fiber and gas transmissivity of hollow optical fiber.
|
host ::
RSS.