Název:
Ionizační detektor pro EREM
Překlad názvu:
Ionization Detector for Variable Pressure SEM
Autoři:
Černoch, David ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2009
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru.
This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC.
Klíčová slova:
environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM); ionizační detektor (ID); Rastrovací elektronový mikroskop (REM); sekundární elektrony (SE); environmental scanning electron microscope (environmental SEM); Ionization detektor ( ID ); Scanning electron microscope (SEM); secondary electrons (SE)
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/7405