Název:
Studium rychlostí nanočástic produkovaných pomocí plynového agregačního zdroje
Překlad názvu:
Study of velocities of nanoparticles produced by means gas aggregation source
Autoři:
Škorvánková, Kateřina ; Solař, Pavel (vedoucí práce) ; Nikitin, Daniil (oponent) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2021
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Pro měření rychlostí nanočástic produkovaných pomocí plynového agregačního zdroje byl vyvinut rychlostní filtr. Při jeho konstrukci byl kladen důraz jak na maximalizaci rozlišení a přesnosti měření, tak na jednoduchost následného používání. Je ukázáno, že experimentálně změřená data (ovlivněná právě konstrukcí filtru) lze přepočítat na skutečné rychlostní rozdělení nanočástic, a rovněž je ukázán způsob tohoto přepočtu. Následně je rychlostní filtr využit k měření rychlostí nanočástic připravených za různých podmínek v aparatuře a je ukázána závislost rychlosti na daných podmínkách. Mimo to jsou pro každé nastavení aparatury připraveny vzorky nanočástic pro SEM k určení rozdělení velikostí vznikajících nanočástic. Na závěr je ukázána závislost rychlosti nanočástic na jejich velikosti.A mechanical time-of-flight filter designed for measuring velocities of nanoparticles produced by gas aggregation source has been developed. The emphasis is placed on the resolution and accuracy maximization as well as on simplicity of use. It is shown that the experimentally measured data (influenced by the design of the filtr) may be converted to the real velocity distribution and a method of conversion is presented. Subsequently, the filter is used to measure velocities of nanoparticles produced under various experimental conditions and the dependence of the velocity on given conditions is shown. Furthermore, a sample for every experimental setup has been prepared for SEM analysis to determine size distribution of the nanoparticles. Finally, the size dependence of velocity is illustrated.
Klíčová slova:
rychlost nanočástic|plynový agregační zdroj|magnetronové rozprašování|plazma; nanoparticle velocity|gas aggregation source|magnetron sputtering|plasma