Original title: Depozice pomocí fokusovaného elektronového svazku
Translated title: Focused eletron beam induced deposition
Authors: Juřík, Karel ; Zmeškal, Oldřich (referee) ; Pospíšil, Jan (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2020
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract: [cze] [eng]
V rámci této práce byla provedena série depozic pomocí fokusovaného elektronového svazku z trimethyl(methylcyklopentadienyl)platičitého komplexu v prostředí vodních par. Byla sledována závislost čistoty připravených materiálů na urychlovacím napětí svazku a tlaku vodních par. Bylo dosaženo maximálního obsahu platiny (27,2 ± 0,4) at. % (při urychlovacím napětí 5 kV, proudu svazku 1600 pA a tlaku vodních par 100 Pa). Po následném dlouhodobém vystavení atmosférickým vlivům (světlu, vzdušné vlhkosti a kyslíku) tato hodnota vzrostla až na konečných (39,2 ± 2,1) at. %. Within this work, a set of depositions induced by focused electron beam was prepared. The depositions were prepared in the presence of water vapours from trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV) precursor. The dependence of prepared materials purity on beam accelerating voltage and water vapour pressure was measured. The best platinum content was achieved at (27,2 ± 0,4) at. %, with beam accelerating voltage 5 kV, beam current 1600 pA and water vapour pressure 100 Pa. Due to subsequent long-term exposure to light, air humidity and air oxygen, the platinum content was increased to (39,2 ± 2,1) at. %.
Keywords: FEBID; focused electron beam induced deposition; GIS; purification; trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV); depozice indukovaná fokusovaným elektronovým svazkem; FEBID; GIS; purifikace; trimethyl(methylcyklopentadienyl)platičitý komplex

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/190952

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-414092


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses